使用設計空間分析器指定三組分混合物的控制範圍和一個製程因子 = 時間。
如下圖所示,所有控制範圍的傳輸工作正常,但是時間中點沒有從設計空間分析器接管? 對於混合物組分的中點進行轉移,為什麼不考慮過程時間的影響呢?
另外,Design Space Porfiler 的缺陷率(體積)比模擬後的缺陷率低很多(一個數量級)?