파라메트릭 민감도 분석
지안파올로 폴시넬리
선임 데이터 마이닝 엔지니어
추상적인 :
Silicon-Fab에서는 각 단일 실리콘 웨이퍼에 대해 여러 전기 및 기능 측정이 수집됩니다.
따라서 많은 양의 데이터에서 어떤 변수가 실제로 웨이퍼 수율을 조절하고 있는지 식별하는 것이 가장 중요한 핵심 성과 지표를 식별하는 것이 매우 중요합니다.일반적으로 선형 회귀 적합이 있는 산점도가 이를 위해 사용됩니다.
어쨌든 이 기술은 분포가 정상이고 이상값과 잡음이 있는 데이터가 없는 경우에만 잘 작동합니다. 이러한 모든 요소는 수율 손실과 인라인 문제 사이의 실제 관계를 모호하게 만들 수 있습니다.
JSL 애플리케이션 개발
