웨이퍼 히트 맵 그래픽에서 웨이퍼의 각 직사각형 칩은 칩의 속성 또는 매개변수 값과 관련된 색상으로 표시됩니다. 히트 맵은 관심 대상인 모든 연속적 또는 범주적 변수에 대한 다이 위치의 영향을 시각화하는 데 사용됩니다.웨이퍼 히트 맵을 분석하면 칩의 좌표가 기판의 반도체 장치로서 향후 성능에 미치는 영향에 대한 통찰력을 얻을 수 있습니다.
다음을 사용하여 시작하십시오. 반도체 툴킷 애드인 X 및 Y 좌표의 치수 또는 각 다이의 치수를 기반으로 웨이퍼의 형상을 생성합니다. 1) 다이스와 웨이퍼의 제조 치수를 기반으로 모양 매개변수를 입력하여 다이스 좌표 그래프를 생성하고 2) Origins 및 Exclusions 필드를 사용하여 부분 다이스를 식별하는 방법을 확인하십시오.
마지막으로 저장된 웨이퍼 맵 XY 및 맵 파일을 편집하여 웨이퍼 히트 맵을 생성하는 데 필요한 다이 인덱스 열을 생성하는 방법을 확인합니다.
