In einer Wafer-Heatmap-Grafik wird jeder rechteckige Chip auf dem Wafer mit einer Farbe dargestellt, die einer Eigenschaft oder einem Parameterwert des Chips zugeordnet ist. Wärmekarten werden verwendet, um die Auswirkung der Position des Chips auf jede interessierende kontinuierliche oder kategoriale Variable zu visualisieren.Die Analyse der Wafer-Wärmekarte gibt einen Einblick in die Auswirkungen der Koordinaten des Chips auf seine zukünftige Leistung als Halbleiterbauelement auf einem Substrat.
Beginnen Sie mit der Verwendung von Semiconductor Toolkit-Add-In um die Geometrie eines Wafers basierend auf den Abmessungen der X- und Y-Koordinaten oder den Abmessungen jedes Chips zu erstellen. Erfahren Sie, wie Sie 1) ein Diagramm der Würfelkoordinaten erstellen, indem Sie Formparameter basierend auf Ihren Herstellungsabmessungen der Würfel und des Wafers eingeben und 2) alle Teilwürfel mithilfe der Felder „Ursprünge“ und „Ausschlüsse“ identifizieren.
Abschließend erfahren Sie, wie Sie die gespeicherten Wafer-Map-XY- und Map-Dateien bearbeiten, um eine Die-Index-Spalte zu erstellen, die zum Erstellen der Wafer-Heatmap erforderlich ist.
