こんにちは、私の名前はマーガレットウィルソン・モーゼス
そして私仕事でインプリア株式会社としてあるシニア製品エンジニア。
インプリア株式会社は上でコーヴァリスオレゴン。
インプリアデザインそして製造する金属酸化物フォトレジスト
にロックを解除するの満杯潜在的の過激紫外線
またはEUVフォトリソグラフィー。
でそのほとんど基本的なレベル、
インプリアは作った上の化学者そしてエンジニア。
の化学者でインプリアはのもの現像そして設計するの化学、
テスト彼らそして精製彼らに振る舞うどうやって彼らは欲しい、
そしてそれから取るそれらの小さい製剤
そして与えるの最高デザインにのエンジニア。
のエンジニア規模上それらのデザイン
に製造で私たちの高い-音量製造業施設
どこ私たちは持っているよりきついコントロール以上処理そしてより高い純度、
そしてそれ終了した製品行きますに私たちの顧客。
両方の化学者そしてのエンジニアでインプリア使用JMP広範囲に。
の化学者使用JMPにデザイン彼らの実験
に分析するの結果のそれらの実験、
頻繁を使用して仮説テスト中。
彼らはまた使用JMPに建てるモデル、それで彼らはより良いできるに予測する
どうやってあるパラメーター意思影響するの応答変数彼らは求めています。
彼らはまた使用JMPに現在彼らの所見
内で彼らのチームそして横切ってインプリア。
エンジニア使用JMPに仕事上私たちのプロセスデータ。
私たちは持っているセンサーの上私たちの製造業施設
それは収集するデータ毎二秒。
私たちは持っているある大きい額のデータそして私たちは使用自動化されたスクリプトからJMP
に引く外の個のそれデータそれ私たちは必要
になれできるに分析する処理多くのもっと単に。
私たちは使用コントロールチャート
に見てでプロセスパラメーターのために違うバッチ
そしてまた分析する品質管理メトリクスの私たちの製品以上時間のために違う製剤。
それらの品質管理メトリクス終わり上の上私たちの証明書の分析します。
私たちはまた使用測定システム分析またはMSAに実行するゲージ研究
の上のツールそれ私たちは使用に集めるの品質コントロールメトリクス。
私たちはまた参加するデータから様々なソース、としてするの化学者、
なぜなら違うグループでインプリアはいつも収集するデータ、
それでその良いになれできるに持っているある方法に参加するのデータ
そして見てのために相関関係間それらのデータセット。
ついに、私たちはまた使用JMPに現在私たちのデータ
両方内部的にそしてに私たちの顧客。
あカップルの年前、
いつ私たちはだった持ってくる上私たちの高い-音量製造業施設、
私だった任務を負ったとのゴール
の現像あるクリーニングスキームのために私たちの製造業施設。
インプリああ、でそれ時間、そしてである方法今日、きれいにする私たちの製造業システム
による希釈に確保するロット間分離。
に確保するそれ多くあするない終わり上で多くB
またはその限定にあるとても小さい額。
私はモデル化されたそれここ。
の上左、私たちは持っている私たちの終了した製品。
いつ私たちは移行それにボトルそしてだった終わり無駄遣い、
私たちは持っています取られた全て私たちはできる取る外、
だった左とある少し少しのヒールで私たちのシステム。
それヒールできないなれ消耗したまたはフラッシュされた外。
そのただ到達不可能なによるのパンプス。
にそれヒール、私たちは追加ある流すそれしません含むどれでものの起動材料
そして私たちは終わり上とある希釈されたヒール。
私たちは無駄として多くのとして私たちはできるそして終わり上との同じ音量のヒール、
しかしであるより低い集中のバツ。
私たちは繰り返すこれプロセス、フラッシングそして無駄遣い、フラッシングそして無駄遣い
それまで私たちは持っているの集中それ私たちは必要での終わり。
さらに遠くの上、病気モデルこれによる電話をかけるX₀、
の集中のバツでの終了した製品
または何でものヒール始まりますで、
それでどれのは行くにマッチの最後の製品。
それからX₁はの集中のバツ後の初め流す。
X₂はの集中後の2番流す、
そしてそれでの上上を通して×ₙ。
の流す音量ここ、呼ばれたF、はの同じ音量繰り返し
全体を通してのプロセス。
私の客観的いつ近づいてくるこれ問題
だったに開発するある動的そして使いやすいビジュアルモデル
に見せるに私のチームどうやって違う変数でこれ問題
ある影響するの潜在的クリーニングスキーム私たちはできた使用との全体ゴール
のサポートする選択のあるスキームそれするだろう満たす全て私たちの基準。
フラッシング。
クリーニングによる希釈できるなれモデル化されたとこれ方程式ここ、
どれの私ただ引っ張られたからの数学それ来る外のの前の滑り台
取られたにNフラッシュします。
Xₙ、の額のバツ残り後Nフラッシュする
e資格があるにの変数の上の右。
それでどこHはの音量のヒール、 Fはの音量あたり流すでのクリーニング、
Nはの番号のフラッシュ、そしてX₀はのイニシャル額のバツ。
これ方程式する重要なこと仮定する
それ毎流すそしてヒールは完璧に混合されたあたり流す、
しかし私たちはする持っている経験的なデータ
それサポートしますそれそれは確かにの場合、ありがたいことに。
私たちははまた仮定してそれのヒール音量は一貫性のある毎時間、
それでだった無駄遣いにの同じちょうどヒール、
そしてそれの流す音量
はの同じちょうど音量毎シングル流す。
しかしまた、私たちは持っている経験的なデータそれサポートしますそれ、
それでだったわかったとこれら仮定。
機能的には、
私たちはは実はもっと興味があるで翻訳するこれ方程式
になれある関数のNさんの番号のフラッシュ、
そしてF、の音量あたり流す、
なぜならの他の変数でこれ方程式はかわいい多くのセット。
ヒールまたはHは絶え間ない当たり製造業システム。
それ5月変化する当たりシステム、しかしそれは知られている
を通してのデータ私たちは持っています集めましたでの過去に計算する何それは。
X₀そしてXₙ変化するあたりクリーニング、しかしまた、私たちは持っている分析的メソッド
に理解する両方X₀そしてXₙあたりクリーニング。
それらのは私たちの知られている変数。
流す音量そして番号のフラッシュするはの二変数それだった変化する
に形外あるクリーニングスキーム。
それらのはのものになれ決定した。
私たちは持っているある少し境界条件また。
の合計額の溶媒使用済みしなければならないなれとして低いとして可能。
私たちはしませんでした来るの中へこれとある難しい限界、
しかしもっと溶媒使用済みはより高い料金両方で生材料そして無駄、
それで私たちは欲しいに限界それとして多くのとして可能。
別の境界状態はそれ私たちは欲しいに保つの番号のフラッシュする
少ないよりもまたは等しいに20で注文になれ稼働中。
それはなぜなら私たちは欲しいにフィット私たちのクリーニング内で私たちの生産リズム。
より低いフラッシュするはより良い運用上、しかし私たちは持っているある難しい限界で20.
流す音量またもっているある境界状態。
それもっているになれ少ないよりもまたは等しいにの容量ののシステム。
でこれ場合、私はセット私たちの容量等しいに60ガロン。
の最大流す音量あなたできた持っているは明らかに60.
もしあなた取るの方程式私示したの上の前の滑り台
そしてこれら境界条件
平行との事実それ私たちは知るHさん、バツ、ないのNさん
あなたできる実は解決するこれ方程式。
あなたできる探すFそしてNに満足するの境界条件。
しかしそれ逃すのゴールそれ私持っていたいつ私来たの中へこれプロセス。
に説明するある少し少しもっとについてそれ、あるよ多くの方法
なぜ行くとあるビジュアルモデルを通してJMPだったもっと有利のために自分
いつ私アプローチこれ問題
よりもただ働くとこれ停滞している方程式。
初めオフ、これ方程式はない直感的。
私はかわいい良いで数学、
そして私できない見る何これ方程式手段であるグラフ形状によるただ探しているでそれ、
対いつあなた持っているあるビジュアルモデル、
あなたできる見るどうやって違う変数影響するそれぞれ他の。
の方程式は限定。
あなた5月持っている1つHさん、どこあなた5月持っている1つHさん、
あなたが欲しいに持っている1つ収率価値あたり製造業システム、
しかしあなた持っている違う製造業システム。
あなた5月欲しいに変化するHそして見る何の違うクリーニングスキームは。
これ方程式本当にフィットします。
あなた得る1つ答えあたり1つセットの入力変数。
とあるビジュアルモデル、
あなた持っているあるとても多用途関係それあなたできる見る
そしてそれカバー無限違うクリーニング計画。
の方程式はまたとても個人。
私噛み砕くこれ数学、私作るの仮定、
私置くの入力価値観で、そしてそれから私教えて私のチーム
どうやって多くのフラッシュする私たちはすべき使用そして何の音量あたり流すすべきなれ。
彼らはできるチェック私の数学、
しかし彼らはない関与したでそれプロセスで全て。
彼らはただ言う、 "わかった。"
対のビジュアルモデルそれ私建てられたは使いやすいそして動的、
それで彼らはできるいじるその周りと彼ら自身
そして見るどうやっての変数影響するそれぞれ他の
そして来るに彼らの自分の結論、
どれのまたリードにもっと賛同からのチーム
いつ私たちは終わり上選択するあるクリーニングスキーム。
最後に、の方程式はつまらない。
私のように数学、そしてそのまだもっと楽しいのために自分に遊ぶその周りとのグラフ
よりもそれはに使用の方程式。
のビジュアルは多くのもっと相互の作用。
私は行くに動くからここに共有私のモデル。
私始めましたとただある単純データテーブルと三つテーブル変数。
私持っているバツ₀ここそしてXₙ両方でppm。
そして私は始めましたX₀になれ100万ppm、
そしてXₙはの目標終わりゴールのためにのクリーニング、
そしてヒールはのヒールののシステム。
の番号のフラッシュするここはただの独立した変数、
それでそのただの整数価値間1そして35.
私した行く超えての最大番号のフラッシュする
ただに得るあるより良いビューのの関係。
それからの流す音量カラムここ
は建てられたオフの方程式それ私示した以前。
私開ける上これ式、
あなたできる見るそれこれはの同じ方程式私共有での滑り台、
そしてそのある関数ののテーブル変数。
そのある関数のこれらテーブル変数ここそれは持ってくるの中への方程式。
私はまた丸いそれに1つ10進数場所なぜなら私たちのコントロールシステム
のみもっているそれ額の感度いつ追加する流す音量。
ついに、私持っているある三番目カラムここどれのはの合計溶媒使用済み。
これは単にある製品のの初め二列。
それ意思見せるあなた
どうやって多くの溶媒あなたは使用済みあたりクリーニングスキーム。
それただ乗算するの番号のフラッシュするによるの流す音量
に与えるの合計額の溶媒使用済み。
いつ私行くの中へ私のクリーニングモデル、その建てられたその周りグラフビルダー。
私は行くにセット私の標準ここになれ1百万ppmとしての起動価値。
しましょう言う私たちの目標は10 ppmの残留物バツでの終わりのクリーニング
そして私たちのヒールは五ガロン。
あなたできる見るここそれ私たちは持っているのバツの上のグラフの番号のフラッシュする
そしてそれからあるよ二違うY価値観。
あるよの流す音量でガロンそしての合計溶媒使用済みでガロン。
私また持っているある参照ラインここで20
に見せるの最大フラッシュするそれは操作可能。
それぞれのこれらポイント反映されたここはある満杯クリーニングスキーム。
もし私選択するこれポイント右ここ、これは言ってる10フラッシュします。
とこれ起動価値のバツ、
これゴール終わりのバツでこれヒール価値、
そしてあなたは行くに持っているの流す音量の10.8ガロン当たり流す
でそれクリーニングスキーム。
いつあなた見てでこれグラフ、
全てのの赤ポイントにの左のこれ黒ライン
は有効クリーニング計画。
いくつかのの彼ら使用もっと溶媒、合計溶媒、そしていくつかのの彼ら使用少ない、
しかし彼らは全て有効当たり私たちの境界条件。
それから私持っているでの右ここのテーブル変数でスライダー形状、
これら上三つもの、どれのは編集可能どちらかによるあるスライダー
またはによるの番号編集箱ここそれは接続されていますにのテーブル変数。
それから私持っているあるボタン箱ここどれの意思取る全てこれ情報
そして計算するそれそして与えるあなたある単純答えのためにの合計溶媒使用。
もし私クリックそれ右ここ、私得るある箱それ言う、
"わかった、もしあなた持っている20フラッシュ、の音量当たり流す意思なれ3.9
そしてあなたは行くに使用ある合計の78ガロンでこれクリーニング流す。"
あるよある少しもの私たちはできる得るそれなし本当に平いじる
とのスライダー変数以上ここ
とこれビジュアルモデルそれ私たちはできませんでした得るからの方程式、
のように私言った前に。
初めオフ、あなたする見るこれネガティブ相関
間番号のフラッシュするそして合計溶媒使用。
いつ私言ったそれあなたできた解決するの方程式
を使用しての境界条件そして私たちの知られているテーブル変数、
私意味それもしあなたは試していますに使用の少しでも額の合計溶媒
そしてあなた持っているある最大の20フラッシュ、それからあなたの最高スキーム、
仮定してあなたは試していますに最小化する溶媒使用済み、
は行くになれで20フラッシュします。
それは期限にこれネガティブ相関ここ。
のもっとフラッシュするあなた使用済み、の少ない合計音量あなたはを使用して
なぜならそのネガティブ相関。
あなたまた見るとこれビジュアルそれそのの指数関数的減衰。
その間20フラッシュする5月なれの少しでも額の合計溶媒あなたはを使用して
とこれら境界条件、
18フラッシュするのみ用途81ガロン、
どれのはのみ三つガロンもっとよりもあなた使用で20フラッシュします。
これはどこそれになる重要に持っているこれビジュアルここ
なぜならそれかもしれないなれの場合それの時間私たちは保存でオペレーション
による減らすフラッシュするから20に18
は実は価値の三つガロン私たちは失うで合計溶媒使用済み。
全て右、それでとのスライダー、
今私たちはできる始める探しているでのスライダー、
とのスライダー、
あなたできる見るどうやってこれら変数影響するの可能クリーニング計画。
のスライダーここはでの範囲の、
多分ないとして可能、しかし何ですか合理的のためにこれモデル。
それであなたできる見る。
あなたは探しているでどうやってこれら赤点変化
と関係にのY軸。
あなたは探しているで両方の急峻さのこれ曲線
なぜならそうします見せるあなた
どうやって重要それはに最大化するあなたのフラッシュする内でこれら限界。
あなたはまた探しているでの全体レベル。
あなた欲しいに減らす合計溶媒。
のより低い下あなたの赤点は、のより良いオフあなたは行くになれ。
による操作するこれら、
私できる見せるどうやって多くのそれ問題に始めるであるより低いまたはより高い集中。
あなたできる見るそれ、はい、の赤点は移動中ある少し少し、
しかしそれかかりますとてもあるその間前に彼らは持っているの効果
の上の身長のそれらの赤点でのより低いグラフ。
Xₙ 、あなたできる見るどうやって多くのそれ問題
に持っているあるゴールの残留物溶媒でそこには。
もしあなたのゴールはあるより高い額の溶媒、
もしあなた持っているもっとバッファに到着あなたのゴール、
それからあなたは行くに必要少ない溶媒。
一方もしあなた持っているより高い基準のために残留物溶媒、それであるより低いゴール、
あなたは行くに使用とてもある少しの溶媒。
あなたできる見るここあなた持っている少ないそして少ないクリーニングスキームそれは実行可能な
いつあなた持っているそれより低いゴールの残留物溶媒。
させて自分ただ戻るに10.
それからとヒール、
あなたできるティンクその周りこれそして見るどうやって多くののヒールのあるシステム
影響を与えるどうやって多くの溶媒そして何クリーニングスキームは可能。
あより大きなヒール手段あなた持っているに使用
もっとそしてもっと溶媒に成し遂げるあなたのゴール基準。
あ小さいヒール平均あなた必要に使用少ないそして少ない溶媒。
超えてただ選択するあるクリーニングスキーム、
これビジュアルモデル許可された私たちのチームに見てのために何私たちはすべき集中の上
もしだった試していますに減らすの全体額の溶媒
いつだったクリーニング。
私たちはしたそれによる探しているでもし私たちは持っていたいくつかのオプション
に変化私たちの変数のX₀ 、 Xₙ、そしてヒール、
どれの1つするだろう与える私たちのほとんど強打のために私たちのバック？
どれの1つできた私たちは変化と合理的努力の上私たちの一部
に得るの最大の削減で合計溶媒使用済みあたりクリーニング？
ここ、病気言う私たちは持っていた三つオプション。
病気言うそれ私たちは持っていたのオプションに減らすの起動価値による50%。
言う私たちはできた整える私たちのバッチスケジュール。
クリーニングするだろうのみ始めるで50%の何彼らは元は始めましたで。
私たちはできた変化私たちのゴールから10 ppmに50 ppm、
それでかけるそれによる五。
それはなぜなら私たちは持っていた違う感度テクニック
または違う制限のために材料続くあるあるバッチ。
それから私たちはできたまた減らす私たちのガール、私たちのヒールによる1つガロン
によるエンジニアリング改善にの実際の製造業システム。
本当に素早く、良い見てのためにを使用してこれグラフ、
良い見る何起こる
いつあなた変化からこれ標準セットの入力変数
そして保つの番号の流すにの20にの全体音量のクリーニング、
溶けたt必要です。
また、私たちの標準レベルは78ガロン。
もしあなた変化から100%のXi nあなたのシステム
での始まりにのみ50%、それで500,000 ppm、
そして病気セットの変数価値観そこには、
だった今のみを使用して72ガロンにクリーン外。
しかしそれはのみある削減の六ガロンのためにクリーニング。
それ本当にしませんでした動くの針とても多くの。
次、良い見てで変化私たちのXₙに50
そしてそれから設定私たちの変数価値観また。
それ言うそれ私たちは意思必要64ガロンの溶媒にクリーンでの終わり。
それはあるより良い改善のためにの合計溶媒必要です。
ついに、良い見てで減らすのヒールでのシステム
から五ガロンに四ガロン
そして見るそれの合計溶媒必要なは62ガロンここ。
それはの最高の削減で溶媒必要なにクリーン。
とこれ情報、
そしてそれだった似ている情報それ私たちは使用済みに実は追求するこれオプション、
私たちはした見てで方法に減らすのヒールで私たちのシステム
に減らすの全体溶媒必要な
なぜなら私たちは見たそれ変数は行くに影響するの合計溶媒使用済みほとんど
との額それ私たちはできる変化どれでものこれら変数。
それは反映されたここ。
これらだったの三つオプション私ただ行った以上。
あなたできる見るそれオプションあ、の削減で起動レベル、
あなたのみは得るあなた自身六ガロン。
オプションB、の増加のの終わりレベル、
あなた持っている14余分なガロン、そしてオプションCだった16余分なガロン。
しかし本当に探しているでこれら価値観、また、その重要それ
あるチームは関与したでこれ
なぜならそれはのみ二ガロン違う間オプションBそしてオプションC.
もしオプションBだったとても簡単比較したにオプションC、
私たちはおそらくするだろう持っている消えたとオプションB.
しかしあるヒール削減の1つガロンするだろうなれほとんど効果的
でこれら三つオプションで減らす合計音量のためにクリーニング。
いくつかの結論として備考私持っている。
基本的に、私ただ欲しいに丸戻るに何私持ってくる上元は。
それできたなれそれ数学的な思考を持つ人々
するだろう見てでの方程式の上の左そして自動的に知る
それ変化のヒールは行くに持っているの最高の効果
の上の溶剤の目的使用済み。
それはない本能的なに自分、
に知るそれただ探しているでこれ方程式。
私知るそれの人々私仕事と、それはない本能的なに彼らどちらか。
での場合どこ私はであるチーム試していますに来るにある結論
とコンセンサスの全ての私たち、
そのとても役立つに持っているあるビジュアルモデルでJMP
どこ人々できる操作するの変数彼ら自身
そして見るどうやってある変数のように合計溶媒使用済みはかわった
による変化変数それ私たちは知る何彼らは平均。
私できる見る多くのアプリケーション
のを使用してあるビジュアルモデルとスライダー変数、
平で私の会社。
どれでも多変数プロセス
どこの関係間それらの変数は知られている
もっているの潜在的に作る使用のあるモデルとのスライダー変数
に与えるあるビジュアルモデルのどうやってのプロセス反応するに変化でそれらの変数。
私は考えのあるよ予測可能な方法それ流体温度影響を与える
どうやって難しいあるポンプもっているに押す流体に到着あるある流れレート。
それできたなれ役立つで選択するフィルターのためにある与えられたプロセス。
私信じるそれできたなれ役に立つのために多くの他のアプリケーションとして良い。
容易にの世代。
私午前ないあるコーダーそして私だったできるに建てるこれモデル比較的簡単に
とヘルプからヨルダンヒラー、
おお、叫ぶ外ヨルダンヒラー、感謝あなた、
またからのスクリプト索引、
どれの持っていた多くの素晴らしい例、そしてのJMPユーザーコミュニティ。
なぜなら私だったできるに見てを通して歴史的な質問
そしてピース一緒にどうやって私欲しかったに行くについてあるある問題。
それだった比較的単純に作るこれモデル。
持っている作ったこれモデル、
それするだろうなれとても簡単に操作するでの未来のために他の目的。
部屋のために改善。
また、そこには5月なれある場所それ私逃したどこそれだった可能にするこれ、
しかしで私の探検、
私できませんでした探すある方法に作るある参照ラインそれ接続されている、
基本的に交差したのグラフでこれポイント
そして移動しました平行とのグラフに違うポイント。
あ参照ラインそれはある関数。
私そうではなかったできるにするそれ。
私知る私見た違う例のそれ、しかし私そうではなかったできるにするそれ
とを使用してテーブル変数として一部のそれ関数。
しかしまた、それはおそらく期限に私のないいるあるコーダー、
しかしそれするだろうなれ役立つもしそれだったあるもっと簡単な、
もっとアクセス可能な特徴でモデリングでJMP。
しかし本当に、私する考えるそれのモデル私作成した、
それだったとても役立つのために私たちの目的、
そしてそれ意思なれ役立つのために他のアプリケーションでの未来。
私希望その役立つに他の人々。 感謝あなた。
