パラメトリック感度分析
ジャンパオロ・ポルシネッリ
シニアデータマイニングエンジニア
概要:
シリコン ファブでは、単一のシリコン ウェーハごとに複数の電気的および機能的測定値が収集されます。
そのため、大量のデータの中で、どの変数が実際にウェハーの歩留まりを最も重要な主要性能指標に影響を与えているかを特定することが非常に重要です。通常、線形回帰フィットを使用した散布図がそのために使用されます。
とにかく、この手法は、外れ値やノイズの多いデータがなく、分布が正規である場合にのみうまく機能します。 これらすべての要因により、歩留り損失とインラインの問題との間の真の関係がわかりにくくなる可能性があります。
JSLアプリケーション開発
