PECVD BKM 공정 개발 및 예측 모델 구축에서 제약 실험 설계 방식 및 설계 방법 평가 적용_Christy Pan스피커: 크리스티 팬 , 공정 엔지니어, 응용 재료
연설 주제: PECVD BKM 공정 개발 및 예측 모델 구축에 제약 실험 설계 기법 및 설계 방법 평가 적용
요약:
금속 산화물 공정에 적용되는 PECVD의 필름 특성은 디스플레이 장치 성능에 매우 중요합니다. 필름 두께 균일성, 응력 및 증착 속도는 모두 주요 공정 속성입니다. 금속 산화물 박막 증착의 복잡한 과학을 탐구하려면 시간과 비용을 절약하면서 효율적이고 원활하게 작업을 완료하기 위해 DOE에 대한 구조적이고 체계적인 접근 방식이 필요합니다. DOE 미세 조정 프로세스가 시작되기 전에 Gage R&R 테스트를 수행하여 좋은 데이터 품질을 보장하고 DOE 실험의 크기를 최소화합니다. 또한 게이지 R&R 잡음 시그마는 회귀 잡음 RMSE와 비교하여 측정 잡음을 회귀 잔류 잡음으로부터 분리합니다. DOE 예산 제약으로 인해 (1) Taguchi L27 DOE, (2) 고전적인 부분 요인 DOE, (3) 맞춤형 DOE 및 (4) 결정론적 스크리닝(DSD)이 유사한 크기의 21-27개 실험을 기반으로 비교되었습니다. DOE의 다양한 응답 표면 DOE 방법. 결과로부터 DSD는 같거나 작은 실험 규모에서 최고의 직교성(상관성 컬러맵), 예측 균일성 및 검정력을 보였다. 접힌 DSD 디자인은 가장 작은 실험 규모에서 DOE의 회전성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 이 문서에서는 설계 제약 조건에 대해서도 설명합니다. 플라즈마의 물리적 한계로 인한 설계 제약을 발견했으며, DSD의 구조를 설계함으로써 그 영향을 최소화할 수 있었습니다. 설계 제약 측면에서 위험에 대한 더 안전한 접근 방식을 식별하기 위해 전력 분석, 컬러맵, 산점도 행렬, 예측 분산 및 설계 공간 비율을 조사하여 설계 제약 하에서 DSD 설계 구조를 평가했습니다. 다음 과제는 모델 과적합을 피하는 방법입니다. 최소 자승 회귀 모델링을 기반으로 원하는 알파 위험 수준에서 요인을 제거하거나 추가하여 예측 모델을 수정할 수 있습니다. 그럼에도 불구하고 효과항의 유의수준 임계값을 0.05로 설정해야 하는지 0.10으로 설정해야 하는지 명확하게 판단하기 어렵다. 더 높은 p-값 임계값을 사용할 때 과적합 동작을 관찰했습니다. ANOVA 결과는 모델에 유의하지 않은 항을 더 추가하여 과적합이 유의한지 여부를 나타낼 수 있습니다. 모델에서 더 높은 p-값을 가진 효과 항을 제거한 후에 더 낮은 ANOVA p-값과 과적합의 위험 감소(더 높은 조정 R-제곱)를 얻을 수 있습니다. 전달 함수를 설정한 후 예측 프로파일러를 사용하여 전역 민감도 분석을 수행하여 입력 변수의 민감도 순위를 지정합니다. JMP 객관적 민감도 분석 결과 주관적 품질 기능 확장(House of Quality)과 일치하였다. 전달 함수를 통한 장기 생산 일반 변동을 시뮬레이션하기 위해 모든 주요 요인에 대한 노이즈 변동을 통합하여 Monte Carlo 시뮬레이션을 수행하여 부적합 불량률을 계산합니다. JMP 프로파일러를 사용하여 둔감한 프로세스 창을 찾는 견고한 설계(1차 미분으로 최적화됨). 최적의 공정 매개변수 설정이 균일성 산점도를 기반으로 하는 높은 예측력 영역 내에 있는지 확인하여 모델 검증을 수행했습니다. Monte Carlo 모델에 따르면 최적의 프로세스 설정은 ~0%의 오프 스펙 성능을 달성할 수 있습니다. JMP 도구는 강력하며 프로세스 개선 및 검증에 큰 도움이 될 수 있습니다.
분산 분석암사슴DSD모델링몬테카를로 시뮬레이션다구치 DOE실험적 설계분산 분석다구치 디자인최종 선별 설계몬테카를로 시뮬레이션예측 모델링Re: PECVD BKM 공정 개발 및 예측 모델 구축에 있어서 제한된 실험 설계 기법 및 설계 방법 평가의 적용_Pan Yanqi(Christy Pan)좋은! 이런 멋진 나눔이 필요합니다!
Re: 带约束的实验设计方案及设计방법评估에서 PECVD BKM工艺开发及其预测模型建立中的应用_潘燕琦(Christy Pan)크리스티가 자랑스럽다
찰스
