Prédiction et analyse de RESPONSE par WAFER en utilisant JSL (2021-KR-30MP-1023)JIYUN KANG, SK Hynix
De nombreux processus unitaires sont nécessaires pour fabriquer un seul semi-conducteur.
Chaque processus doit bien se dérouler pour obtenir des semi-conducteurs de haute qualité, qui sont gérés par des mesures entre les processus. Cependant, une analyse cohérente est difficile car elle existe sous diverses formes par équipement et FAB.
Ici, nous introduisons un cas où n'importe qui peut facilement et rapidement effectuer une analyse cohérente à l'aide de JSL.
Il prédit la distribution de la RÉPONSE au sein de la WAFER avec des données limitées et fournit des informations statistiques.
De plus, les résultats de l'analyse interactive sont affichés visuellement.
ÉclaterVisualisation de donnéesDéveloppement d'applications JSL
