你好，
對於 DOE，我有一個有趣的情況（至少對我而言）。 我需要設計一個包含 13 個變量的實驗。 變量 X1 和 X2（均為數字）不能同時出現在實驗中。 如果選擇 X2，則 X2*X3 <= 1200。 此外，X6與X5的比值必須為整數。
實驗的目標是提高晶圓的均勻性，如通過晶圓直徑上的蝕刻深度測量的那樣。
對其他變量（所有數字）沒有其他約束。
這種情況的最佳設計是什麼？
謝謝，
