你好，
对于 DOE，我有一个有趣的情况（至少对我而言）。 我需要设计一个包含 13 个变量的实验。 变量 X1 和 X2（均为数字）不能同时出现在实验中。 如果选择 X2，则 X2*X3 <= 1200。 此外，X6与X5的比值必须为整数。
实验的目标是提高晶圆的均匀性，如通过晶圆直径上的蚀刻深度测量的那样。
对其他变量（所有数字）没有其他限制。
这种情况的最佳设计是什么？
谢谢，
