암사슴안녕,
DOE에 대해 (적어도 나에게는) 흥미로운 상황이 있습니다. 13개의 변수로 실험을 설계해야 합니다. 변수 X1 및 X2(둘 다 숫자)는 동시에 실험에 포함될 수 없습니다. X2를 선택한 경우 X2*X3 <= 1200입니다. 또한, X6 대 X5의 비율은 정수여야 합니다.
실험의 목표는 웨이퍼 직경 전체의 식각 깊이로 측정된 웨이퍼 균일성을 개선하는 것입니다.
다른 변수에 대한 다른 제약 조건이 없습니다(모두 숫자).
이 상황에 가장 적합한 디자인은 무엇입니까?
감사해요,
암사슴
