エネルギー省こんにちは、
DOE にとって (少なくとも私にとっては) 興味深い状況があります。 13 個の変数を使用して実験を計画する必要があります。 変数 X1 と X2 (両方とも数値) を同時に実験に含めることはできません。 X2 が選択されている場合、X2*X3 <= 1200 となります。 さらに、X6 と X5 の比率は整数でなければなりません。
実験の目的は、ウェーハの直径全体にわたるエッチング深さによって測定されるウェーハの均一性を改善することです。
他の変数 (すべて数値) には他の制約はありません。
この状況に最適なデザインは何でしょうか?
ありがとう、
実験計画法Re:DOE皆さんの助け/サポートに感謝します!
Re:DOEこの話の真ん中に入りたくないので、私の考えを簡潔に述べておきます。
1. エッチング深さを測定することで、どのような要因がウェーハ変動に影響を与えるかを解明しようとしています。 測定システムを評価しましたか? ウェーハ内のエッチング深さが最も重要な要素であることを判断するためにサンプリングを行いましたか? エッチング深さはウェーハ全体で一貫していますか? ウェーハ内のエッチング深さの変動には体系的なパターンはありますか? エッチング深さの変動に影響を与える可能性のあるすべての要因を特定しましたか (管理できるものもあれば、管理できないものもあります)。 これらの質問は、実験の前に答えておく必要があります。
2. これらの答えがあると仮定すると、スクリーニングを行っているようです。 これは最初のものです一連の実験反復。 最初の実験ですべてを理解しようとしないでください (非常に非効率的です)。 次の実験への明確なパスが得られるように設定します (これを行うには、かなり大きな設計スペースを作成します)。 たとえば、要素 (電源) を用意し、各電源の設定を選択して、電源の違いを最大化してみてはいかがでしょうか (大胆ですが合理的です)。 電源装置の出力がウェーハ内で変化していると思われますか (なぜですか?)? 電源に興味がある場合は、後の実験で微調整してください。
3. 制約が複雑で、レベル設定を調整する必要があるように思えます。 大胆だが合理的であることを忘れないでください。 あなたは勝者を決めようとしていない、重要な要素のサブセットに自信を持って割り当てることができるほど十分に大きな変動を作成しようとしています。 次回の反復では、より正確なレベル設定と予測モデリングが可能になります。
4. 最後に、応答変数がウェーハ内のばらつき平均的なエッチング深さではありません (変動の推定値を取得するには、繰り返し測定する必要があるでしょう)。
Re:DOEこんにちは、ビクターさん
申し訳ありませんが、私は明確ではないので、別の方法で説明しようとします。
1.私X13 が選択されている場合、X14、X15、および X16 はいずれも選択できません。ここで私が言いたかったのは、エンジニアには 2 つの電源装置があり、1 つは X13 に関連付けられ、もう 1 つは X14、X15、および X16 に関連付けられているということです。 実験ごとに選択できる電源は 1 つだけです。 電源 1 を選択した場合、X13 のみが設定され、他のすべての変数 (X13、X14、X15 を除く) が設定されます。 電源 2 を選択すると、X14、X15、および X16 が有効になり、X13 は変数ではなくなります。
2. 「さらに X14*X15 <= 1200」: X14 はパーセンテージであると言うべきでした...申し訳ありません。
3. 「最終的に X13/X10 は整数でなければなりません」: ここでは X13 と X10 に関心があり、エンジニアはこれを念頭に置いて実験を設計するように要求しているため、両方を設計に含める必要があります。
項目 1 に関しては、おそらく 1 つのアプローチとして、電源ごとに 2 つの設計を用意することが考えられます。 これは最良の設計ではない可能性があるため、私がアドバイスを求めています。
改めてお時間をいただきありがとうございました
Re:DOEこんにちは@MarkovVaribles1 、
申し訳ありませんが、いくつかの制約が理解できません:
- 」私X13 を選択した場合、X14、X15、X16 は選択できません。 」 ：「選ばれた」「選ばれなかった」とはどういう意味ですか？ ここで言及されているすべての因子は計画において 0 とは異なる低レベルであるため、一部の因子を「選択」または「選択しない」方法がわかりません。 これらの因子は互いにリンクしていますか (制約のある混合因子など)。
- 」さらに X14*X15 <= 1200 " : これらの係数の低レベルはそれぞれ 50 と 400 (50x400 = 20000) であるため、この制約を考慮する方法がわかりません... 因子水準または最大値制約に問題があります。
- 」最後に、X13/X10 は整数でなければなりません。 」 : 個々の因子 X13 と X10 に興味がありますか、それともそれらの比率/相対値のみに興味がありますか? 2 番目のオプションの場合は、以前の回答で述べたように、2 つの個別の因子ではなく、因子 X13/X10 を 1 つだけ含めることができます。
さらなる情報をお待ちしておりますので、
Re:DOEこんにちは、
ごめんなさい、それは間違いでした。 最後の質問を投稿し、返信を待っていました。
Re:DOEこんにちは@MarkovVaribles1 、
あなたの問題の解決策を見つけることができてうれしいです。
ただし、すでに述べたように、 @fja (ありがとうございます!)、最初のメッセージで特定された障害 (いくつかの要素のレベル、変更、またはタイプに関する制約) を除去するために、DoE がどのように構築されたかについての詳細が不足しています。
あなたが直面した障害に対して見つけた解決策が JMP コミュニティの他のメンバーにも役立つように、さらに情報を提供していただけますか?
また、作成したデザインについてのフィードバックを受け取る良い機会となる場合もあります。
前もって感謝します、
Re:DOEこんにちはマルコフ！
私は今少し混乱しています。 このスレッドを解決済みとしてマークしましたが、発生したエラー/問題についてはまだ説明しています。 解決しましたか？
--フィヤ
Re:DOEデザインを作成しようとしましたが、エラー メッセージが表示されました。
以下は実際の変数のリストです。
制約: X13 が選択されている場合は、X14、X15、および X16 のいずれも選択できません。 X14、X15、および X16 が一緒である必要があり、その場合、X13 が外れます。 さらに X14*X15 <= 1200。 最後に、X13/X10 は整数でなければなりません。
DOE の目標は、ウェーハ全体での応答の変動を最小限に抑えること (均一性を最大限に高めること) です。
お時間をいただきありがとうございました！
Re:DOEこんにちは、ビクターさん
ご提案いただいた解決策に大変感謝しており、時間を割いてご協力いただきありがとうございます。 唯一の問題は、2 つの要素の比率が整数であることです。 2 つの要素は電力の低周波と高周波であり、実験ではどちらも特定の動作範囲内で指定する必要があります。
再度、感謝します！
Re:DOEこんにちは@MarkovVaribles1 、
によって指摘されたように@fja , より多くの情報とコンテキストを提供すると、他のユーザーがガイドしたり、アドバイスを与えたりするのに役立ちます。
あなたのトピックから私が理解したかもしれないことに基づいて、いくつかを以下に示します。
- 非常に多くの因子 (13 個) があるため、主な目的は重要な因子とそうでない因子を分類することだと思います。 この場合、D 最適計画 (メニュー「カスタム設計」内) は、期待に一致する DoE を設計するのに役立ちます (入力因子の主効果のスクリーニング)。
いくつかの要因に関する具体的なケースについて:
- 」変数 X1 と X2 (両方とも数値) を同時に実験に含めることはできません: 考えられる解決策が 2 つあります (テスト/確認する必要があります) : これらの要因の低レベルが 0 の場合、DoE で「許可されていない組み合わせフィルター」を使用するか、単純に 2 つのレベルを持つカテゴリ列「選択肢」を作成することができます。 (X1、X2) と、テストされるこの変数の量/数を示す連続列。 これは当然、実験に変数を 1 つだけ持つという制約 (X1 または X2) を尊重する必要があります。
- 「X2 が選択されている場合、X2*X3 <= 1200」注: これは、制約を作成するために数式列 X2*X3 を作成して、「許可されていない組み合わせフィルター」を使用するのに適したケースである可能性があります。 あるいは、JMP に「許可された」実験データテーブルのセットから最も有益な実験を「選択」させるために、共変量/候補セットを使用することも代替手段になる可能性があります。
- 「さらに、X6 と X5 の比は整数でなければなりません」 : この場合、X5 と X6 の具体的な数値よりも比率の値に興味があるのであれば、係数 X6/X5 を直接作成してみてはいかがでしょうか? スクリーニング設計では、この比率係数が整数のみになるように低レベルと高レベルを設定できます。たとえば、低レベルを 1 に設定し、高レベルを 2、3、または 4 に設定します。
これらは現時点での私の考えであり、欠落している文脈や目的によっては不正確または的外れな部分もあるかもしれませんが、あなたのデザイン作成に役立つことを願っています。
Re:DOEこんにちは！
全体的な目標を追加してもいいかもしれません...
乾杯
