DOEやあ、
DOE について、(少なくとも私にとっては) 興味深い状況があります。 13 変数の実験を計画する必要があります。 変数 X1 と X2 (どちらも数値) を同時に実験に含めることはできません。 X2 が選択されている場合、X2*X3 <= 1200。 さらに、X5 に対する X6 の比率は整数でなければなりません。
この実験の目的は、ウェーハの直径全体のエッチング深さによって測定されるウェーハの均一性を改善することです。
他の変数に対するその他の制約はありません (すべて数値)。
この状況に最適な設計は何でしょうか?
ありがとう、
DOE
