Georg Raming, Senior Manager, Siltronic AG
Die Siltronic AG ist ein globaler Technologieführer in der Halbleiterwaferindustrie. Diese Präsentation stellt den Ansatz der Siltronic AG zur Aufbereitung von Chargenprozessdaten für die Modellierung mit JMP Pro vor. Es werden einige interaktive Schritte zum Bereinigen und Neuanordnen des Datensatzes vor der Modellierung anhand eines anonymisierten Datensatzes demonstriert, der sowohl historische als auch experimentelle Chargendaten enthält. Sobald der beste Modellalgorithmus gefunden ist, wird das verstärkte Baummodell abgestimmt.
Das Team der Siltronic AG stellte fest, dass ein technisch einwandfreies Modell möglicherweise physikalisch wertlos ist, also überangepasst wurde. Daher begann das Team mit einem kleinen Satz von Faktoren, erweiterte die Liste der Faktoren schrittweise und testete das Verhalten des Modells, um die effektivsten Faktoren zu finden (Step-Forward-Strategie für einen verstärkten Baum in einer kleinen JSL-Routine). Der letzte Schritt lieferte den besten Einblick, welche Hebel am stärksten sind, um den Prozess zu optimieren.
