Hallo,
Ich versuche, Kontrolldiagramme für verschiedene Prozessparameter zu zeichnen. Meine Daten sind Überwachungsdaten, bei denen ich jede Woche einen Datenpunkt für jeden Parameter erhalte. Der hier gezeigte Parameter ist die Std-Dev-Messung vom Monitor-Wafer. Ich versuche, diese std dev zu plotten. Datenpunkte aus mehreren Wochen in ein IMR-Diagramm. Ich habe versucht, die JMP-Prozess-Screening-Plattform zu verwenden, um Hunderte anderer Parameter in die engere Wahl zu ziehen. Das Problem, das ich habe, ist, dass, wenn ich die Zusammenfassung des Prozess-Screenings verwende, der Stabilitätsindex als 1,21 (grün) angezeigt wird. Wenn ich die Parameter- und Plot-Kontrollkarte für das ausgewählte Element auswähle, zeigt die Kontrollkarte einen Stabilitätsindex von 3,302531.
Hier sind einige Schnappschüsse
- Zusammenfassung des Prozessscreenings

- Distributionen & Prozessfähigkeit

- IMR-Kontrolldiagramm --> Diskrepanz für innerhalb von Sigma hier zu sehen. Meine Untergruppengröße ist 1 und ich habe die Kontrollgrenzen festgelegt. Auf der Regelkarte befindet sich eine Notiz, die besagt: "Innerhalb von Sigma ist auf einen Wert eingestellt, der von benutzerdefinierten Regelgrenzen abgeleitet wird".

Was sollte ich also tun, um diese Art von Daten mithilfe von Prozess-Screening in einem Kontrolldiagramm darzustellen? Ich wollte das Prozessleistungsdiagramm als Werkzeug verwenden, um die Parameter in die engere Wahl zu ziehen, deren Kontrolldiagramme gezeichnet werden müssen, anstatt täglich Hunderte von Diagrammen für die Fertigungslinie zu zeichnen. Ich hänge den Datensatz hinter dieser Grafik an.
Danke im Voraus!!