IMR 控制图和过程筛选平台之间的内 sigma 不匹配你好,
我正在尝试绘制各种工艺参数的控制图。 我的数据是一个监控数据,我每周都会为每个参数获取一个数据点。 此处显示的参数是来自监控晶圆的标准偏差测量值。 我正在尝试绘制这些标准开发。来自多个星期的数据点到 IMR 图表中。 我试图使用 JMP 过程筛选平台能够在 100 多个其他参数中进行筛选。 我遇到的问题是,当我使用过程筛选摘要时,稳定性指数显示为 1.21(绿色)。 当我为所选项目选择参数并绘制控制图时,控制图显示稳定性指数为 3.302531。
这是一些快照
- 工艺筛选总结

- 分布和过程能力

- IMR 控制图 --> 在这里看到的内 sigma 的差异。 我的子组大小为 1,并且我已锁定在控制范围内。 控制图上有一条注释,上面写着“在 Sigma 范围内设置为从用户定义的控制限制中得出的值”。

那么我应该怎么做才能使用过程筛选在控制图上绘制这种数据呢? 我想使用过程性能图作为一种工具来筛选需要绘制控制图的参数,而不是每天为生产线绘制 100 个图表。 我附上了这张图后面的数据集。
提前致谢!!
分析