Hallo,
In der Halbleiterindustrie müssen Sie normalerweise die Anzahl der Chips, die Sie auf einen Wafer quetschen können (GDPW), optimieren.
Ich habe in JSL ein Skript geschrieben, das bei einer bestimmten Geometrie die bestmögliche und schlechteste Anzahl guter Chips pro Wafer berechnet. Insbesondere bei großen Düsen kann eine kleine Verschiebung des Schussfeldes um einige mm das GDPW um bis zu 5 % verbessern.
In diesem Skript definieren Sie einige Eingabeparameter wie die X/Y-Abmessungen des Chips, die Wafergröße, die Breite der Ritzlinie, den Kantenausschluss, den Ausschluss der unteren Ebene usw.
Das Skript simuliert eine Verschiebung der Schussanordnung in kleinen Schritten, zeichnet die bestmögliche und schlechteste BIPW-Zahl auf und speichert einige analytische Daten in einem JMP-Journal.
Vielleicht kann sich jemand darin inspirieren lassen, es für akademische Zwecke nutzen oder vielleicht sogar die Ergebnisse in etwas umsetzen, das auf seinen Werkzeugen in der Fabrik verwendet werden kann.
Die Berechnungen dauern einige Zeit, typischerweise etwa 100 Sekunden.
Wenn jemand Anregungen zur Beschleunigung der Berechnung hat, lassen Sie es mich bitte wissen.
Am Ende dieses Beitrags habe ich zwei .jsl-Dateien angehängt, die im selben Ordner abgelegt werden müssen.
Sie können das Skript im Debugger ausführen. Es verfügt über eine Profilerstellungsfunktion, die Ihnen sagt, wo das Skript seine Zeit verbringt. Diese Informationen könnten auf einen Code hinweisen, der hinsichtlich der Geschwindigkeit optimiert werden könnte.
