你好,
在半导体行业中,您通常需要优化可以挤压在晶圆上的裸片数量 (GDPW)。
我在 JSL 中编写了一个脚本,它计算给定特定几何形状的每个晶圆的最佳和最差可能的良好管芯数量。 尤其是对于大型模具,喷丸阵列的小幅度偏移几毫米可以将 GDPW 提高多达 5%。
在此脚本中,您可以定义一些输入参数,例如芯片 X/Y 尺寸、晶圆尺寸、划线宽度、边缘排除、底部平面排除等。
该脚本将以小步长模拟镜头阵列的移动,记录可能的最佳和最差 GDPW 数量,并将一些分析数据存储在 JMP 日志中。
也许有人可以从中找到一些灵感,将其用于学术目的,或者甚至将结果转化为可用于工厂工具的东西。
计算需要一些时间,通常约为 100 秒。
如果有人对如何加快计算有一些意见,请告诉我。
在这篇文章的底部,我附上了两个需要放在同一个文件夹中的 .jsl 文件。



您可以在调试器中运行脚本。 它具有分析功能,可以告诉您脚本将时间花在哪里。 该信息可能会建议可以针对速度进行优化的编码。