Ting Cheng, ingeniero de procesos, materiales aplicados
Cui Yue, ingeniero de procesos, materiales aplicados
En un proyecto AMAT Six Sigma Black Belt relacionado con el proceso de pulverización catódica de PVD, los objetivos del proyecto eran optimizar varias propiedades de la película. Se utilizó una Matriz de Pugh para seleccionar el diseño de hardware más factible.Los parámetros del proceso de pulverización catódica de PVD se eligieron (X) en función de la física del proceso de pulverización catódica de PVD.
Para mejorar la estructura del diseño, se utilizaron un diseño de cribado definitivo y un diseño de aumento para evitar confusiones en la Resolución II y III. Se usaron el modelo RSM y el ajuste de mínimos cuadrados para construir el modelo predictivo de estas propiedades de la película. Además de los efectos principales, se encontró que varios efectos de interacción eran significativos en el modelo RSM reducido.Cada efecto de interacción descubrió información potencial de dos modelos de física de pulverización catódica de PVD que compiten entre sí.
Para optimizar aún más el proceso de pulverización catódica de múltiples flujos, se utilizó un DOE de diseño supersaturado ortogonal de grupo para optimizar cada bloque del proceso de pulverización catódica. Las propiedades de la película (Ys) compiten entre sí en la búsqueda del diseño óptimo.Se utilizaron tres técnicas JMP para encontrar el diseño robusto óptimo:
- Configure DSD basado en simulación para optimizar las funciones de deseabilidad.
- Realice la optimización robusta de Profiler para encontrar el diseño óptimo.
- Ejecute una simulación de Monte Carlo para estimar el % de defectos no conformes.
Mediante el uso de estas plataformas y técnicas de modelado JMP 16, este proyecto Black Belt tuvo mucho éxito, no solo en la improvisación. i ng las propiedades de la película, sino también en la promoción de la comprensión de cómo la física interactúa en el proceso. Este multifacético JMP DOE, enfoque basado en modelado y simulación se convirtió en el punto de referencia para varios proyectos nuevos de JMP que emprendieron un enfoque similar.
