Ting Cheng, Ingénieur des procédés, Matériaux appliqués
Cui Yue, Ingénieur des procédés, Matériaux appliqués
Dans un projet AMAT Six Sigma Black Belt concernant le processus de pulvérisation PVD, les objectifs du projet étaient d'optimiser plusieurs propriétés du film. Une matrice de Pugh a été utilisée pour sélectionner la conception matérielle la plus réalisable.Les paramètres du processus de pulvérisation PVD ont été choisis (Xs) en fonction de la physique du processus de pulvérisation PVD.
Pour améliorer la structure de conception, une conception de dépistage définitive et une conception d'augmentation ont été utilisées pour éviter toute confusion aux résolutions II et III. Le modèle RSM et l'ajustement des moindres carrés ont été utilisés pour construire la modélisation prédictive de ces propriétés du film. En plus des effets principaux, plusieurs effets d'interaction se sont avérés significatifs dans le modèle RSM réduit.Chaque effet d'interaction a révélé des informations potentielles à partir de deux modèles physiques de pulvérisation PVD concurrents.
Pour optimiser davantage le processus de pulvérisation à flux multiples, un DOE de conception sursaturée orthogonale de groupe a été utilisé pour optimiser chaque bloc de processus de pulvérisation. Les propriétés du film (Ys) sont en concurrence les unes avec les autres lors de la recherche de la conception optimale.Trois techniques JMP ont été utilisées pour trouver la conception robuste optimale :
- Mettre en place un DSD basé sur la simulation pour optimiser les fonctions de désirabilité.
- Effectuez une optimisation robuste du profileur pour trouver la conception optimale.
- Exécutez une simulation de Monte Carlo pour estimer le pourcentage de défauts non conformes.
En utilisant ces plates-formes et techniques de modélisation JMP 16, ce projet Black Belt a été très réussi, non seulement dans l'improvisation je ng les propriétés du film, mais aussi en approfondissant la compréhension de la façon dont la physique interagit dans le processus. Cette approche multidimensionnelle JMP DOE, basée sur la modélisation et la simulation, est devenue la référence pour plusieurs nouveaux projets JMP adoptant une approche similaire.
