Gianpaolo Polsinelli
SENIOR DATA-MINING-INGENIEUR
Abstrakt :
In einer Silicon-Fab werden für jeden einzelnen Siliziumwafer mehrere elektrische und funktionelle Messungen durchgeführt.
Daher ist es sehr wichtig, in einer großen Datenmenge zu identifizieren, welche Variablen wirklich die Waferausbeute, den wichtigsten Key Performance Indicator, modulieren.Üblicherweise wird dafür ein Scatterplot mit linearer Regressionsanpassung verwendet.
Auf jeden Fall funktioniert diese Technik nur dann gut, wenn die Verteilungen normal sind, es keine Ausreißer gibt und die Daten verrauscht sind. All diese Faktoren können die wahre Beziehung zwischen Ertragsverlust und Inline-Problemen verschleiern.
