Ting Cheng, 공정 엔지니어, Applied Materials
Cui Yue, 공정 엔지니어, 응용 재료
PVD 스퍼터링 공정과 관련된 AMAT Six Sigma Black Belt 프로젝트에서 프로젝트 목표는 여러 필름 특성을 최적화하는 것이었습니다. 가장 실현 가능한 하드웨어 설계를 선택하기 위해 Pugh Matrix가 사용되었습니다.PVD 스퍼터링 프로세스 매개변수는 PVD 스퍼터링 프로세스의 물리학을 기반으로 선택되었습니다(Xs).
설계 구조를 개선하기 위해 결의 II 및 III에서 혼동을 피하기 위해 최종 선별 설계 및 보강 설계가 사용되었습니다. RSM 모델과 최소 제곱 맞춤을 사용하여 이러한 필름 속성의 예측 모델링을 구성했습니다. 주효과 외에도, 감소된 RSM 모델에서 몇 가지 상호작용 효과가 유의한 것으로 밝혀졌습니다.각 상호 작용 효과는 두 개의 경쟁 PVD 스퍼터링 물리학 모델에서 잠재적인 통찰력을 발견했습니다.
다중 스트림 스퍼터링 프로세스를 추가로 최적화하기 위해 그룹 직교 과포화 설계 DOE를 사용하여 각 스퍼터링 프로세스 블록을 최적화했습니다. 필름 특성(Ys)은 최적의 디자인을 찾을 때 서로 경쟁합니다.최적의 견고한 설계를 찾기 위해 세 가지 JMP 기술이 사용되었습니다.
- 시뮬레이션 기반 DSD를 설정하여 바람직함 기능을 최적화합니다.
- Profiler Robust Optimization을 수행하여 최적의 설계를 찾습니다.
- Monte Carlo 시뮬레이션을 실행하여 부적합 결함 %를 추정합니다.
이러한 JMP 16 모델링 플랫폼과 기술을 사용하여 이 Black Belt 프로젝트는 즉석에서뿐만 아니라 매우 성공적이었습니다. 나 ng 필름 속성뿐만 아니라 프로세스에서 물리학이 상호 작용하는 방식에 대한 이해를 심화합니다. 이 다면적 JMP DOE, 모델링 및 시뮬레이션 기반 접근 방식은 유사한 접근 방식을 취하는 여러 새로운 JMP 프로젝트의 벤치마크가 되었습니다.
