Ting Cheng, Ingegnere di processo, Materiali applicati
Cui Yue, ingegnere di processo, materiali applicati
In un progetto AMAT Six Sigma Black Belt relativo al processo di sputtering PVD, gli obiettivi del progetto erano l'ottimizzazione di diverse proprietà del film. Una matrice Pugh è stata utilizzata per selezionare il design hardware più fattibile.I parametri del processo di sputtering PVD sono stati scelti (Xs) in base alla fisica del processo di sputtering PVD.
Per migliorare la struttura del progetto, sono stati utilizzati il design dello screening definitivo e il design dell'aumento per evitare confusione nelle risoluzioni II e III. Il modello RSM e l'adattamento dei minimi quadrati sono stati utilizzati per costruire la modellazione predittiva di queste proprietà del film. Oltre agli effetti principali, diversi effetti di interazione sono risultati significativi nel modello RSM ridotto.Ogni effetto di interazione ha rivelato potenziali approfondimenti da due modelli fisici di sputtering PVD concorrenti.
Per ottimizzare ulteriormente il processo di sputtering a più flussi, è stato utilizzato il design supersaturato ortogonale del gruppo DOE per ottimizzare ogni blocco del processo di sputtering. Le proprietà del film (Ys) competono tra loro durante la ricerca del design ottimale.Sono state utilizzate tre tecniche JMP per trovare il design robusto ottimale:
- Impostare DSD basato sulla simulazione per ottimizzare le funzioni di desiderabilità.
- Condurre l'ottimizzazione robusta del Profiler per trovare il design ottimale.
- Eseguire una simulazione Monte Carlo per stimare la percentuale di difetto non conforme.
Utilizzando queste piattaforme e tecniche di modellazione JMP 16, questo progetto Black Belt ha avuto molto successo, non solo nell'improvvisazione io ng le proprietà del film, ma anche per approfondire la comprensione di come la fisica interagisce nel processo. Questo approccio multiforme JMP DOE, modellazione e simulazione è diventato il punto di riferimento per diversi nuovi progetti JMP che hanno intrapreso un approccio simile.
