<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Multimodalitätsverteilungsanalyse
Entdecken Sie Variabilitätsquellen, die in Dichteverteilungen verborgen sind, indem Sie die JMP-Skriptfunktion verwenden
Abstrakt
In einer Halbleiterfabrik werden mehrere elektrische Messungen auf verschiedenen Siliziumwafern gesammelt.Die damit verbundenen Verteilungen sind normalerweise normal, obwohl dies nicht immer der Fall ist. Oft zeigen diese Verteilungen mehrere Modi aufgrund von Prozessverschiebungen, Werkzeugabweichungen oder Versatz. Das Ziel besteht darin, die zugrunde liegenden Mehrfachmoden automatisch zu identifizieren und so das Rauschen zu minimieren
Autoren
Antonio D. D'Angelo, Felice Russo
Gesellschaft
Lfoundry srl
