멀티모달리티 분포 분석<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />멀티모달리티 분포 분석
JMP 스크립팅 기능을 사용하여 밀도 분포에 숨겨진 변동성 소스 발견
추상적인
반도체 팹에서 여러 가지 전기 측정값이 서로 다른 실리콘 웨이퍼에서 수집됩니다.항상 그런 것은 아니지만 이와 관련된 분포는 일반적으로 정상입니다. 이러한 분포는 프로세스 이동, 도구 편차 또는 오프셋으로 인해 여러 모드를 표시하는 경우가 많습니다. 목표는 노이즈를 최소화하는 기본 다중 모드를 자동으로 식별하는 것입니다.
저자
안토니오 D. 안젤로, 펠리체 루소
회사
파운드리 srl
JSL 애플리케이션 개발
