<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Analyse de la distribution multimodale
Découvrez les sources de variabilité cachées dans les distributions de densité à l'aide de la fonctionnalité de script JMP
Résumé
Dans un semi-conducteur Fab, plusieurs mesures électriques sont collectées sur différentes tranches de silicium.Les distributions qui leur sont associées sont généralement normales même si ce n'est pas toujours le cas. Souvent, ces distributions présentent plusieurs modes en raison du changement de processus, de la déviation ou du décalage des outils. L'objectif est d'identifier automatiquement les multiples modes sous-jacents en minimisant le bruit
Auteurs
Antonio D. D'Angelo, Felice Russo
Compagnie
Lfonderie srl
