Pas facile de changer la question de réglage des facteurs dans le DOEJ'ai reçu une question de la part d'un client sur le réglage de la conception de parcelles divisées, j'ai besoin de votre aide pour la rendre plus claire.
Ils doivent faire une conception qui comprend deux processus.
1er processus :
• Température du four en degrés centigrades, avec niveaux 360, 370 et 380
• Revêtement, avec les niveaux C1, C2, C3 et C4 représentant quatre types de revêtement différents
2ème processus :
• Température du four en degrés centigrades, avec niveaux 400, 450 et 500
• Revêtement, avec les niveaux C5, C6, C7 décrivant trois types de revêtement différents
Les facteurs de température du four dans les deux processus ne sont pas faciles à modifier.
Comment pouvons-nous obtenir un meilleur DOE pour cette situation ?
Considère-t-il que le facteur de température du four est difficile à modifier et à procéder à la conception de parcelles divisées ?
Ou définissez le facteur de température du 1er four comme étant très difficile à modifier et le facteur de température du 2ème four comme étant difficile à modifier, puis procédez à la conception de parcelles divisées ?
Ou autre meilleure suggestion?
Merci.
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOE@Eric_Wang il existe deux manières générales de configurer cela. Tout d'abord, pour chaque lot de matériau (c'est-à-dire les unités expérimentales qui entrent dans le four), vous pouvez randomiser les 2 températures indépendamment. Ainsi, appliquez les revêtements C1, C2, C3 et C4 au hasard sur les unités expérimentales (facile à changer), regroupez-les pour un fonctionnement du four à une température aléatoire à partir des paramètres de facteur, appliquez le deuxième revêtement au hasard (facile à changer - C5, C6 et C7), et faites-les tous fonctionner à la deuxième température de four aléatoire (difficile à changer). Une parcelle divisée simple, probablement la plus facile des deux.
La deuxième approche serait de faire d'abord toutes les exécutions du four 1 (chacune avec un lot d'unités expérimentales obtenant le revêtement 1 facile à changer), d'appliquer le revêtement 2, puis de sélectionner au hasard les unités expérimentales presque terminées pour les exécutions du four 2. Il s'agit d'un strip-plot. Peu importe lequel des deux fours est réglé sur Très dur , vous devez vérifier le Les facteurs difficiles à modifier peuvent varier indépendamment des facteurs très difficiles à modifier case et randomisez correctement les analyses recevant les traitements du four 1 dans les analyses correctes du four 2. Dans l'exemple ci-joint, j'ai fait de Furnace 2 le facteur Very Hard, les exécutions de Furnace 1 avec les mêmes valeurs de sous-parcelles correspondent à une seule exécution de Furnace 1.
Autant que je sache, le graphique fractionné vous donnera des estimations légèrement plus précises. De plus, le fait de devoir conserver les unités expérimentales jusqu'à ce que toutes les analyses du four 1 soient effectuées peut entraîner des problèmes imprévus. Dans l'industrie des semi-conducteurs, par exemple, une croissance indésirable peut se produire sur une plaquette si elle reste trop longtemps entre les étapes de traitement. En fin de compte, il s'agit de savoir quelle conception est la plus susceptible d'être exécutée correctement.
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOEMerci, Don, votre explication est très utile pour moi.
Pour être sûr de bien comprendre l'expérience que vous proposez
J'essaie de dessiner l'intrigue pour l'intrigue divisée et l'intrigue en bandes, comme joint (les parcelles sont brutes et grossières, je sais)
Pouvez-vous m'aider à vérifier si l'intrigue est proche de la conception que vous décrivez ?
Merci.
BTW, comme vous l'avez mentionné dans la dernière section du commentaire précédent, nous devons tenir compte du temps entre le processus 1 et le processus 2, afin de ne pas créer de problèmes imprévus.
Cela signifie-t-il que nous exécutons une exécution par lots de parcelles divisées/bandes au lieu d'une exécution sur tranche (nous n'avons pas le temps de définir le facteur d'expérience tranche par tranche, c'est pourquoi nous définissons un facteur comme difficile/très difficile à changer) ?
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOEMerci, @DonMcCormack .
Il semble que si nous considérons plaquette par plaquette pour définir, nous pouvons utiliser un tracé fractionné, et si nous considérons un lot de plaquettes très difficile à changer, le tracé de bande convient, mais nous avons besoin d'un certain Qtime (temps d'attente) entre 2 processus. Après avoir discuté avec mon client, ils sont confrontés à un problème: le processus 1 et le processus 2 sont continus, c'est-à-dire que la plaquette ne sort pas du four tant que le processus n'est pas terminé, le Qtime est court (ou pas de Qtime). Comme vous l'avez mentionné dans un commentaire précédent à propos de la croissance indésirable sur une plaquette. Avez-vous des suggestions pour concevoir une expérience pour le processus continu ?
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOE@Eric_Wang les dessins sont parfaits, exactement comme je représenterais des parcelles divisées et des parcelles en bandes. Il existe différentes manières de penser aux conditions qui nécessitent une conception de parcelle fractionnée/en bandes. Nous avons parlé de facteurs difficiles à modifier. Une autre façon, comme vous l'avez suggéré, est de demander, "qu'est-ce qui obtient le traitement expérimental?". Dans votre exemple, une tranche individuelle reçoit le traitement de revêtement tandis qu'un lot de tranches reçoit le traitement à la température du four. Dans le premier cas l'unité expérimentale est le wafer et dans le second l'unité expérimentale est le lot de wafers. Chaque fois que vous avez deux ou plusieurs tailles différentes d'unités expérimentales, vous avez besoin d'une parcelle fractionnée (ou de l'une de ses variantes).
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOE@Eric_Wang la chose la plus simple à faire serait de traiter le temps d'attente comme une covariable et d'essayer de l'inclure comme prédicteur avec les facteurs expérimentaux. Je soupçonne que le client préférerait minimiser le temps entre les processus 1 et 2 et ne pas l'utiliser comme facteur expérimental.
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOE
Merci, @DonMcCormack . La façon dont vous suggérez d'ajouter une covariable pour minimiser le temps d'attente est une excellente idée pour obtenir une conception efficace pour gagner du temps.
Cependant, l'épaisseur précise (réponse) est la plus importante dans cette expérience, ils craignent que la croissance sur une plaquette pendant le temps d'attente ne conduise à une mesure d'épaisseur inexacte.
sur le principe, devrions-nous leur suggérer d'utiliser la conception de parcelle divisée mentionnée pour obtenir un résultat précis ?
Re : Pas facile de modifier la question de réglage des facteurs dans le DOE@Eric_Wang ils ont besoin d'une conception de parcelle divisée car les tranches sont exécutées en lot pour les deux étapes du processus. Le temps d'attente est une information qui est ajoutée aux données après coup. Il n'est pas contrôlé par l'expérimentateur. Il est possible qu'il puisse être extrait des données collectées par le système de manipulation de tranche (par exemple, horodatage de début pour le processus 2 - horodatage de fin pour le processus 1).
