Joo Yong-han, Sunmoon University
Aktuell werden verschiedene Komponenten der Smart Factory aktiv in der Fertigungsindustrie eingesetzt. In diesem Fluss wurden viele hervorragende Beispiele für Akarizide veröffentlicht, die verschiedene Prozessdaten auf Big-Data-Analysemodelle anwenden. Das Big-Data-Analysemodell hat jedoch aufgrund von Einschränkungen wie der enormen Ressourcenallokation, der relativ langen Lernzeit und der Feinabstimmung durch Experten Schwierigkeiten bei der Popularisierung. In dieser Studie möchten wir einen Functional Data Explorer vorschlagen, der Trace-Daten verschiedener Prozesse und Geräte analysieren kann. Diese Technik kann die gesammelten Daten basierend auf der Basisfunktion modellieren und gibt als Ergebnis einen Funktionswert zurück. Die Analyse wurde basierend auf einem Halbleiterkammersensor durchgeführt, und es wurde bestätigt, dass es eine bessere Wirkung bei der Erkennung von Anomalien basierend auf Basisstatistiken wie Mittelwert und Abweichung gab. Es wird erwartet, dass die Bequemlichkeit der Echtzeit-Datenanalyse durch die Analysetechnik dieser Studie verbessert wird.
