合理分组是将数据组织成在相同/相似操作条件下产生的组的过程。几个新的子分组功能被添加到工艺筛选平台在JMP 16.1使这种分析更加灵活和用户友好。
- 您现在可以指定多个子组列。
- 具有子组角色的单个和移动极差图现在创建一个包含样本标签列的明细表。
- 添加了一个选项，使您可以灵活地按或不按子组列进行排序。
要查看这些新功能的示例，请打开示例数据文件夹中的 Semiconductor Capability.jmp。
dt=open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
多个子组列和样本标签列
选择分析->筛选->过程筛选。 指定 NPN1 作为过程变量。 对于子组，指定 lot_id 和晶片。
在以前的版本中，仅允许一个子组列用于过程筛选。 从 JMP 16.1 开始，可以为过程筛选分析定义多个子组列。 单击确定。
从红色三角形中，选择保存详细信息表。 除了子组列之外，该表还包含所有子组变量的列：lot_id 和晶片。 在以前的版本中，只创建了一个子组列。 详细信息表中没有lot_id 和wafer 的识别信息。
按子组排序
选择分析->筛选->过程筛选。指定 NPN1 作为过程变量。 将晶片指定为子组。 将控制图类型设置为 XBar 和 R。
请注意左下方“按子组排序”中的新复选框。 默认情况下，不选中此框意味着不会对数据进行排序。
单击确定。 从报告顶部的红色三角形中，选择保存详细信息表。
我们看到第一个子组对应于wafer=1。 25日subgroup 也对应wafer=1。 这是因为 Process Screening 没有对数据进行排序。 如果您回顾原始数据表，您会看到类似的排列，其中第 1-5 行的晶片 = 1，第 121-125 行的晶片 = 1。
让我们将此与选中对话框中的按子组排序框进行比较。 选择原始半导体能力数据表。 选择分析->筛选->过程筛选。 单击召回。 您应该拥有与之前图片相同的对话框。 在此对话框中，在单击“确定”之前选中左下方的“按子组排序”框。
现在，当您选择 Save Details Table 时，您会发现 NPN1 列的晶圆 1 只有 1 个子组。
比较 Process Screening 结果，您会发现给定的统计数据因使用的排序选项而异。 有理子组定义了分析的实施方式。
结论
JMP 16.1 为子组变量提供了更大的灵活性。
- 可以定义多个子组变量。
- 带有子组变量的 IMR 图表的明细表包含每个子组变量的子组标签列。
- 新的按子组排序命令确定平台是否在分析之前对数据进行排序。
