プロセス スクリーニングを使用すると、長期間にわたる多数のプロセスを調査できます。 JMP 16では、いくつかの新機能がこのプラットフォームに追加されました。このブログ投稿では、JMP 16 で導入されたプロセス スクリーニングの新機能について詳しく説明します。
XBar チャートと IMR チャートを 1 回の起動で
企業には多くの継続的なプロセスがあることがよくあります。一部のプロセスにはサブグループごとに複数の観測値があり、XBar チャートが必要ですが、他のプロセスにはサブグループごとに 1 つの観測値があり、IMR チャートが必要な場合があります。 JMP 16 以降では、1 回のプロセス スクリーニング起動で両方のチャート タイプを取得できるようになりました。
次のデータテーブルを考えてみましょう。
dt=New Table( "Process Data",
Add Rows( 24 ),
New Column(
"wafer",
Numeric( 1 ),
"Nominal",
Set Values(
[1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10,
11, 12]
),
Set Display Width( 0 )
),
New Column(
"Y1",
Numeric,
"Continuous",
Format( "Best", 10 ),
Set Property(
"Spec Limits",
{LSL( 104.41 ), USL( 131.89 ), Target( 118.15 )}
),
Set Values(
[114.555760105678, 113.52359591958, 114.946183872216, 116.25374611217,
110.287898508744, 119.847995090729, 113.877878795723, 113.106755626713,
114.832071507276, 115.737338527253, 120.193341974807, 113.425287275443,
., ., ., ., ., ., ., ., ., ., ., .]
),
Set Display Width( 0 )
),
New Column(
"Y2",
Numeric,
"Continuous",
Format( "Best", 10 ),
Set Property(
"Spec Limits",
{LSL( 164.39 ), USL( 429.65 ), Target( 297.02 )}
),
Set Values(
[322.616751775796, 323.833298568833, 301.607366273833, 278.646245766939,
469.298298488357, 332.715779503856, 346.462173291699, 213.59945858556,
291.464226219377, 345.449129206092, 242.233144838257, 423.564714196848,
291.370833295888, 333.921504947116, 288.644927205998, 258.806219486679,
263.935377860945, 276.312880747942, 322.144968498633, 341.978235063698,
316.143895248667, 302.164492808713, 319.751938178979, 269.802897971304]
),
Set Display Width( 0 )
),
Group Columns( "Processes", :Y1, 2 )
);
このテーブルには 2 つのプロセスからのデータが含まれています。最初のプロセス (Y1) には、ウェーハごとに 1 つの観測値があります。 2 番目のプロセス (Y2) では、ウェーハごとに 2 つの観測値が得られます。したがって、管理図のタイプは、Y2 では XBar、Y1 では IMR (個別および移動範囲) にする必要があります。
この分析を作成するには、「分析」->「スクリーニング」->「スクリーニングの処理」を選択します。 Y1 と Y2 をプロセス変数に割り当てます。ウェハをサブグループに割り当てます。グラフの種類を XBar および R に変更します。
あるいは、次の JSL を実行することもできます。
obj=dt<< Process Screening(
Process Variables( :Y1, :Y2 ),
Control Chart Type( "XBar and R" ),
Subgroup( :wafer )
);
[OK] をクリックすると、次の分析が表示されます。
XBar および R チャート タイプが Y2 に適用されました。個別の測定と移動範囲のチャート タイプが Y1 に適用されました。
仕様値外の色
処理能力と規格限界の管理では、規格限界外の値を色分けする方法がすでに提供されています。この機能はプロセス スクリーニング JMP 16 に追加されました。
次のコードを実行して Semiconductor Capability.jmp を開き、テーブルに添付されているプロセス スクリーニング スクリプトを実行します。
dt=Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
obj=dt<<RUN script=""></RUN>
<P>データテーブル内の仕様外の値に色を付けるには、「プロセススクリーニング」の横にある赤い三角形を選択し、「能力の表示」->「仕様外の値の色付け」を選択します。</P>
<P><SPAN class="lia-inline-image-display-wrapper lia-image-align-center" image-alt="color.png" style="width: 921px;"><span class="lia-inline-image-display-wrapper" image-alt="color.png" style="width: 921px;"><img src="https://us.v-cdn.net/6038925/uploads/images/32747i58DF4C6D9351272F/color.png" role="button" title="color.png" alt="color.png" /></span></SPAN></P>
<P>データ テーブルでは、仕様下限を下回る観測値を含むセルが赤色で表示されます。規格上限を超える観測値を持つセルは青色で表示されます。</P>
<P><SPAN class="lia-inline-image-display-wrapper lia-image-align-center" image-alt="coloredTable.png" style="width: 716px;"><span class="lia-inline-image-display-wrapper" image-alt="coloredTable.png" style="width: 716px;"><img src="https://us.v-cdn.net/6038925/uploads/images/32748iDA950C8B11BDED7C/coloredTable.png" role="button" title="coloredTable.png" alt="coloredTable.png" /></span></SPAN></P>
<H3 id="toc-hId-674858594" id="toc-hId-675816681">K シグマの K を指定する機能</H3>
<P>プロセス監視は、多くの場合、誤報が多すぎることに悩まされます。これにより、アラームが無視される可能性があります。 JMP 16 で導入された K シグマ オプションにより、ユーザーは K を指定できます。制限は +/- K * シグマを使用して計算されることを思い出してください。K を増やすと制限が広がります。これにより、アラームの感度を下げ、誤ったアラームを減らすことができます。</P>
<P>例として、次を実行します。</P>
<CODE class=" language-jsl">dt=Open("$SAMPLE_DATA/Semiconductor Capability.jmp");
obj=dt<<PROCESS screening=""></PROCESS>
<P><SPAN class="lia-inline-image-display-wrapper lia-image-align-center" image-alt="3sigma.png" style="width: 841px;"><span class="lia-inline-image-display-wrapper" image-alt="3sigma.png" style="width: 841px;"><img src="https://us.v-cdn.net/6038925/uploads/images/32752iAD7F7B389914E9A2/3sigma.png" role="button" title="3sigma.png" alt="3sigma.png" /></span></SPAN></P>
<P>テスト 1 違反が 9 件あることに注意してください。調査の結果、これらはすべて誤報であることが判明しました。アラームの感度を下げるために、K シグマを調整できます。 「分析」->「スクリーニング」->「スクリーニングの処理」を選択します。プロセス変数として A2P1 を選択します。サブグループ化としてロットIDのウェーハIDを選択します。ダイアログの左下で、KSigma を 4 に変更します。</P>
<P><SPAN class="lia-inline-image-display-wrapper lia-image-align-center" image-alt="ksigmadialog.png" style="width: 504px;"><span class="lia-inline-image-display-wrapper" image-alt="ksigmadialog.png" style="width: 504px;"><img src="https://us.v-cdn.net/6038925/uploads/images/32753iF7B79A41254D7C07/ksigmadialog.png" role="button" title="ksigmadialog.png" alt="ksigmadialog.png" /></span></SPAN></P>
<P> </P>
<P>「OK」をクリックします。</P>
<P><SPAN class="lia-inline-image-display-wrapper lia-image-align-center" image-alt="ksigmaresults.png" style="width: 843px;"><span class="lia-inline-image-display-wrapper" image-alt="ksigmaresults.png" style="width: 843px;"><img src="https://us.v-cdn.net/6038925/uploads/images/32754i7AE0D33439DB1844/ksigmaresults.png" role="button" title="ksigmaresults.png" alt="ksigmaresults.png" /></span></SPAN></P>
<P>KSigma が 4 の場合、KSigma が 3 (中心線 +/- 3*シグマ) と比較して、管理限界が広くなります (中心線 +/- 4*シグマ)。すべての観測値が 4 シグマの制限内に収まっているため、この例にはテスト 1 違反がありません。</P>
<P>JMP 16 のプロセス スクリーニングに 3 つの重要な新機能が追加されました。</P>
<OL>
<LI>1 回の起動で XBar および IMR 管理図を使用できる機能。</LI>
<LI>色を付けたり、仕様外の値を選択したりする機能。</LI>
<LI>KSigma を変更してアラーム テストの感度を調整する機能。</LI>
</OL>