Irgendwelche Vorschläge für DoE zum Kammerabgleich?Hallo,
Ich habe einige Fragen zum Entwerfen eines effektiven DoE für die Kammeranpassung.
Angenommen, wir haben vier identische Kammern, die die globalen Faktoren "A" und "B" gemeinsam haben, während der Faktor "C (n)" auf jede Kammer angewendet werden kann.
Mit anderen Worten, die Faktoren "A" und "B" werden gleichzeitig auf alle vier Kammern angewendet.
Angenommen, alle Faktoren A & B & C weisen Wechselwirkungen 2. Ordnung auf, während dominante Schätzungen vom Haupteffekt jedes Faktors auf die Antworten herrühren.
Wir haben Ausgänge "X (n)" & "Y (n)" für jede Kammer (= n), aber Residuen zur mittleren Regressionslinie für alle vier Kammern müssen minimal = Kammeranpassung sein.
Angenommen, die Regressionen für Faktoren zu Antworten sind im Allgemeinen linear. Wie können wir dieses DoE effizient gestalten?
AnalytikDAMHIRSCHKUHBetreff: Irgendwelche Vorschläge für DoE zum Kammerabgleich?Okay, das klingt ziemlich kompliziert, also lassen Sie mich ein paar Dinge bestätigen.
- Für jeden Versuchslauf erhalten Sie einen Wert von X und einen Wert von Y für jede Kammer: X1, Y1, X2, Y2, X3, Y3, X4, Y4.
- Und für jeden Lauf würden Sie X gegen Y zeichnen und ein lineares Grundmodell anpassen.
- Sie würden sich dann die Residuen dieses Modells ansehen.
- Wenn die Residuen = 0 sind, dh RMSE = 0, werden die Kammern abgeglichen.
Ist das alles richtig?
Ist es das Ziel dieses Experiments, Einstellungen zu finden, die die Residuen minimieren?
Sie sagen auch, dass Faktor C für jede Kammer separat angewendet werden kann.
Bedeutet das also, dass Sie 4 Faktoren (C1, C2, C3, C4) haben, die völlig unabhängig voneinander eingestellt werden können?
Vielen Dank,
Phil
Betreff: Irgendwelche Vorschläge für DoE zum Kammerabgleich?Hallo, danke für deine Hilfe!
Alle Ihre gepunkteten Aussagen sind gut etabliert und korrekt.
Ist es das Ziel dieses Experiments, Einstellungen zu finden, die die Residuen minimieren? - Ja
Bedeutet das also, dass Sie 4 Faktoren (C1, C2, C3, C4) haben, die völlig unabhängig voneinander eingestellt werden können? - ja völlig unabhängig voneinander.
Dies ist also ein schwieriger Teil, bei dem C1 / 2/3/4 nicht miteinander korreliert sind, während A & B globale Faktoren sind.
C1 / 2/3/4 kann der Feinabstimmungsknopf sein, um die Residuen zu minimieren, während A & B eine große Verschiebung zu X & Y bewirken sollen.
Vielen Dank!Re: Irgendwelche Vorschläge für DoE zum Kammerabgleich?Hallo @Phil_Kay
Da Sie erwähnt haben, dass Sie über die Lösung nachdenken müssen, um DoE aufzubauen, können Sie meinen Hauptthread beantworten?
Vielen Dank,
Joel
Re: Irgendwelche Vorschläge für DoE zum Kammerabgleich?Entschuldigung, dass ich nicht früher antworte.
Wenn alle Faktoren unabhängig voneinander variieren können, wäre dieses Experiment (Datentabelle im Anhang) möglich:

Dabei ist -1 die niedrigste Einstellung des Faktors, 1 die höchste Einstellung und 0 die Mitte des Bereichs.
Dies ist ein definitives Screening-Design.
Wenn Sie in der Lage sind, alle Durchläufe durchzuführen, können Sie herausfinden, welche Faktoren bei der Bestimmung des RMSE von Y vs. X am einflussreichsten sind.
Ich möchte Sie auch dazu ermutigen, im Internet nach "Design of Experiment" und "Chaber Matching" zu suchen. Es scheint einige zu geben veröffentlichte Artikel dazu die Sie wahrscheinlich besser verstehen würden als ich. (Ich habe nicht in der Halbleiterindustrie gearbeitet)
Vielleicht möchten Sie auch über den funktionalen Daten-Explorer in JMP Pro nachdenken, da Sie so modellieren können, wie sich eine funktionale Reaktion aufgrund der Faktoren in einem entworfenen Experiment ändert. Sie könnten modellieren, wie sich Ihr Y vs. X mit den Faktoren A, B und C1 bis C4 ändert.Diese Grundierung könnte helfen.
Lassen Sie mich wissen, ob das hilft,
Phil
Lassen Sie mich wissen, ob das hilft.