Conférencier | Transcription |
| Victor Kesler | Oui, bonjour, je m'appelle Victor Kessler. Je travaille pour la société First Sensor, qui vient d'être rachetée par TE Connectivity. |
| Et je présente aujourd'hui le processus spécial de mise en œuvre des ions à haute énergie et le contrôle du processus à l'aide de la régression linéaire avec JMP. |
| So First Sensor produit des capteurs de pression et optiques à base de silicium et nos produits spéciaux bien connus pour la détection des avalanches lumineuses |
| photodiodes. Ils sont utilisés, par exemple, de nos jours, et dans des systèmes plus légers pour détecter les distances et l'une des futures applications pourrait être la conduite autonome. |
| Et là, il faut détecter de petites quantités de lumières et donc assez rapidement, et donc nos photodiodes à avalanche |
| peut être utilisé. Et l'une des particularités de ces diodes est leur tension de claquage. C'est le |
| caractéristiques spéciales pour nos clients, où ils ont besoin d'ajuster cette tension de claquage en fonction de l'application. |
| Et donc nous devons ajuster cela et régler cette tension de claquage juste dans les spécifications, évidemment, et c'est un processus assez sensible pour ces diodes. |
| Nous utilisons ceci... nous contrôlons cette tension de claquage avec le profil de dopage de ces photodiodes et cela, encore une fois, est contrôlé avec ce processus de mise en œuvre d'ions à haute énergie. Donc, ce qui se passe, c'est que, évidemment, nous fabriquons ces |
| photodiodes avec processus de tranche et microtechnologie, de sorte qu'ils ont un long chemin à travers tous les processus. Nous ajoutons en une seule étape, nous |
| contactez nos partenaires du Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, situé en Saxe, en Allemagne, et ils disposent d'une installation spéciale pour obtenir un contrôle très précis du dosage à haute énergie. Et ce processus de mise en œuvre des ions se fait à une énergie assez élevée. |
| je ne dirai pas exactement |
| énergie en ce moment, mais c'est quelque chose que vous ne pouvez pas faire avec les implanteurs ioniques habituels et le dosage est vraiment faible lorsqu'il doit être implanté avec des wafers, ce qui est un autre défi. |
| Et il est si sensible qu'il n'y a pas de véritable contrôle en cours de fabrication disponible au Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf afin de vérifier |
| la posologie exacte. Donc, ce qu'il faut faire, c'est établir une relation entre les différents niveaux de dosage qui ont été implantés, puis nos résultats réels à la fin de cette tension de claquage. |
| Et c'est |
| également en fonction de la taille de la plaquette, puisque nous fabriquons des plaquettes de différentes tailles. |
| Nous avons deux tailles différentes et nous avons différents domaines de produits où les photodiodes |
| fabriqué pour les clients pour détecter la lumière dans différentes longueurs d'onde. Et à la fin, nous nous retrouvons avec 10 contrôles de processus nécessaires, |
| qui doit être établi. Et un autre |
| Le défi de ce contrôle de processus est que le processus lui-même, la mise en œuvre des ions et une mesure de la tension de claquage, a un calendrier de plusieurs semaines, parfois des mois et donc cela s'additionne. |
| Oui, c'est un défi. Et ce que j'ai trouvé pour pouvoir avoir un meilleur contrôle des processus et un contrôle plus précis utilise JMP |
| afin de contrôler automatiquement tout ce processus. Alors qu'est-ce qui s'établissait |
| le plus ... bien dans ... avec de nombreux scripts était une routine où tous les jours |
| pour planifier automatiquement un script la nuit, commence à rechercher le dernier moyen de mesures appropriées, qui sont effectuées à l'arrière du processus. |
| Et il collecte tous les nouveaux résultats de mesure du testeur de plaquettes. C'est nécessaire, puisque nous n'avons actuellement pas de base de données pour cela, j'ai donc besoin |
| un script recherchant ces résultats. Et il collecte les données, il les joint aux paramètres d'implantation, qui sont enregistrés dans une autre table, |
| et filtre les valeurs aberrantes et enregistre les valeurs statistiques, en particulier le milieu de la tension de claquage d'une plaquette à un tableau de données JMP assez complet. |
| Aussi sur le chemin, puisque je pensais, eh bien, si les données sont disponibles, je génère plutôt aussi des cartes de plaquettes pour l'inspection visuelle et les enregistre également automatiquement |
| à une inspection ultérieure. Et cela peut être vu ici sur le côté gauche, et je vais maintenant agrandir l'image. |
| Donc voilà. |
| Ce sont les... sur le côté gauche se trouve la tension de claquage et sur l'autre côté, une autre caractéristique est tracée, ce qui nous est utile pour une inspection. Et vous pouvez déjà voir ici qu'il y a toute la distribution de la tension de claquage jusqu'à environ... |
| sur une galette. Nous avons donc une certaine variance de ces caractéristiques sur une seule plaquette, puis nous avons une variance de plaquette à plaquette et autour de la variance (?) de cette tension de claquage. |
| Et oui, vous pouvez voir ici que j'ai non seulement généré des cartes de plaquettes, j'ai inclus la distribution et calculé également le rendement, etc. Et quelques autres caractéristiques que j'ai mises ici dans le titre, |
| ainsi que des logos et aussi des méta-informations. J'en ai fait une partie en noir car c'est confidentiel. |
| Mais oui, nous économisons automatiquement à partir de chaque mesure de problème de plaquette, ces cartes de plaquette pour une inspection ultérieure et pour avoir une idée du processus. Je peux également voir ici l'influence d'autres paramètres de mise en œuvre, nous avons donc tout à fait le... |
| Oui |
| ... a une forte boucle de rétroaction avec Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, et nous ajustons donc le processus avec eux. |
| Et oui, c'est un régal pour les yeux qui est produit automatiquement chaque nuit. C'est bien, mais pour pouvoir maintenant mieux contrôler le processus, comme je l'ai dit, nous devons vraiment établir une relation entre le dosage et la tension de claquage. Et cela se fait ici, où vous pouvez voir |
| la relation entre la médiane des tensions de claquage de nombreuses tranches, par rapport à la dose...dose d'utilisation pour la mise en œuvre. Et, comme vous pouvez le voir ici, il y a une assez grande variance et pas seulement avec |
| le dosage unique, qui est alors une variation plaquette à plaquette ou cycle à cycle. |
| Et que cela rend la production assez difficile, mais d'un point de vue statistique, bien sûr, vous pouvez devenir de mieux en mieux si vous |
| visez au maximum la... la médiane que vous aimeriez atteindre et obtenez le rendement le plus élevé. Donc automatiquement |
| la base de données complète pour cela est réalisée par une routine, qui s'exécute toutes les nuits et, plus tard, nous, ou j'utilise le profileur de prédiction afin de viser la tension de claquage que le client souhaite pour son objectif et dans ses spécifications. |
| Et oui, c'est l'état d'aujourd'hui. |
| C'est une relation linéaire, qui s'établit finalement au second ordre. En fait, nous pouvons également inclure la relativité de la tranche, |
| mais pour l'instant, ce n'est pas nécessaire. Il faut aussi beaucoup plus d'exécutions pour établir cette relation. C'est... c'était déjà impossible d'améliorer le rendement à deux chiffres |
| avec ce processus de régression. |
| Et comme autre, oui, perspective, disons, pour le contrôle de processus, je vais maintenant également écrire le script |
| processus d'ajustement et exporter à nouveau les coefficients vers un tableau Excel où, au final, puis depuis un menu Excel, qui peut également être contrôlé par la planification de la production. |
| La |
| les collègues de la planification de la production peuvent calculer eux-mêmes le dosage nécessaire avec les dernières |
| coefficients afin d'obtenir le rendement élevé par rapport à la tension de claquage. Oui, de sorte que, oui, la plupart du travail, évidemment, se trouve dans les scripts, |
| mais ce fut un beau voyage en scénarisant cela. Et je veux remercier, bien sûr, First Sensor et surtout nous aider à |
| pouvoir présenter ici et, ainsi que Frank Kudella, qui était le propriétaire du processus la plupart du temps et ???, et surtout Roman Bottger du Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf. Merci beaucoup. |
