Conférencier | Transcription |
| Victor Kessler | Oui, bonjour, je m'appelle Victor Kessler. Je travaille pour la société First Sensor, qui vient d'être rachetée par TE Connectivity. |
| Et je présente aujourd'hui le processus spécial de mise en œuvre des ions haute énergie et le contrôle de processus à ce sujet en utilisant la régression linéaire avec JMP. |
| So First Sensor produit des capteurs optiques et de pression à base de silicium et nos produits spéciaux bien connus pour la détection des avalanches lumineuses |
| photodiodes. Ils sont utilisés, par exemple, de nos jours, et dans des systèmes plus légers pour détecter des distances et l'une des futures applications pourrait être la conduite autonome. |
| Et là, il faut détecter de petites quantités de lumières et donc assez rapidement, et donc nos photodiodes à avalanche |
| peut être utilisé. Et l'une des caractéristiques particulières de ces diodes est leur tension de claquage. C'est le |
| caractéristiques spéciales pour nos clients, où ils doivent ajuster cette tension de claquage en fonction de l'application. |
| Et nous devons donc ajuster cela et régler cette tension de claquage juste dans les spécifications, évidemment, et c'est un processus assez sensible pour ces diodes. |
| Nous utilisons ceci ... nous contrôlons cette tension de claquage avec le profil de dopage de ces photodiodes et cela, encore une fois, est contrôlé avec ce processus de mise en œuvre d'ions à haute énergie. Donc, ce qui se passe, c'est que, de toute évidence, nous fabriquons ces |
| photodiodes avec des processus de plaquettes et de la microtechnologie, de sorte qu'ils ont un long chemin à travers tous les processus. Nous ajoutons en une seule étape, nous |
| Contactez nos partenaires de Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, qui est situé en Saxe, en Allemagne, et ils disposent d'une installation spéciale afin d'obtenir un contrôle vraiment précis du dosage à haute énergie. Et ce processus de mise en œuvre des ions se fait à une énergie assez élevée. |
| Je ne dirai pas l'exact |
| l'énergie en ce moment, mais c'est quelque chose que vous ne pouvez pas faire avec les implants ioniques habituels et le dosage est vraiment faible lorsqu'il doit être implanté avec des plaquettes, ce qui est un autre défi. |
| Et il est si sensible qu'il n'y a pas de véritable contrôle en cours de processus disponible au Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf afin de vérifier |
| le dosage exact. Donc, ce qu'il faut faire est d'établir une relation entre les différents niveaux de dosage avec a été implanté et ensuite nos résultats réels à la fin de cette tension de claquage. |
| Et c'est |
| également en fonction de la taille de la plaquette, car nous fabriquons des plaquettes de différentes tailles. |
| Nous avons deux tailles différentes et nous avons différents domaines de produits où les photodiodes |
| fabriqué pour les clients pour détecter la lumière dans différentes longueurs d'onde. Et à la fin, nous nous retrouvons avec 10 contrôles de processus nécessaires, |
| qui doit être établie. Et un autre |
| Le défi de ce contrôle de processus est que le processus lui-même, la mise en œuvre des ions et une mesure de la tension de claquage, a un calendrier de plusieurs semaines, parfois des mois et donc cela s'additionne. |
| Ouais, c'est un défi. Et ce que je suis venu avec pour pouvoir avoir un meilleur contrôle de processus et un contrôle plus précis utilise JMP |
| afin de contrôler automatiquement tout ce processus. Alors qu'est-ce qui établissait |
| la plupart ... bien dans ... avec de nombreux scripts était une routine où tous les jours |
| à la tâche de planification automatique d'un script la nuit, commence à rechercher le dernier moyen pour les mesures appropriées, qui sont effectuées au backend du processus. |
| Et il recueille tous les nouveaux résultats de mesure de wafer prober. Ceci est nécessaire, car nous n'avons actuellement pas de base de données pour cela, j'ai donc besoin |
| un script recherchant ces résultats. Et il collecte les données, il les joint aux paramètres d'implantation, qui sont enregistrés dans une autre table, |
| et filtre les valeurs aberrantes et enregistre les valeurs statistiques, en particulier le milieu de la tension de claquage d'une tranche dans un tableau de données JMP assez complet. |
| Aussi en cours de route, puisque je pensais, eh bien, si les données sont disponibles, je génère plutôt également des cartes de plaquettes pour une inspection visuelle et les enregistre automatiquement également |
| à une inspection ultérieure. Et cela peut être vu ici sur le côté gauche, et je vais maintenant agrandir l'image. |
| Donc voilà. |
| Ce sont les ... sur le côté gauche se trouve la tension de claquage et de l'autre côté, une autre caractéristique est tracée, ce qui nous est utile pour une inspection. Et vous pouvez déjà voir ici qu'il y a assez de distribution de la tension de claquage vers le haut d'environ ... |
| sur une plaquette. Nous avons donc une certaine variance de ces caractéristiques sur une seule plaquette, puis nous avons une variance de plaquette à plaquette et autour de la variance (?) De cette tension de claquage. |
| Et oui, vous pouvez voir ici que j'ai non seulement généré des cartes de plaquettes, j'ai inclus la distribution et calculé également le rendement et ainsi de suite. Et quelques autres caractéristiques que j'ai mises ici dans le titre, |
| ainsi que des logos et également des méta-informations. J'en ai fait du noir car c'est confidentiel. |
| Mais oui, nous économisons automatiquement de chaque mesure de problème de plaquette, ces cartes de plaquette pour une inspection ultérieure et pour avoir une idée du processus. Je peux aussi voir ici l'influence d'autres paramètres d'implémentation, donc nous avons tout à fait le ... |
| Ouais |
| ... a une forte boucle de rétroaction avec Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, et nous ajustons donc le processus avec eux. |
| Et oui, c'est un bonbon pour les yeux qui est produit automatiquement chaque nuit. C'est bien, mais pour pouvoir désormais mieux contrôler le processus, comme je l'ai dit, nous devons vraiment établir une relation entre le dosage et la tension de claquage. Et cela se fait ici, où vous pouvez voir |
| la relation entre la médiane des tensions de claquage de nombreuses plaquettes, par rapport à la dose ... usage dosage pour la mise en œuvre. Et, comme vous pouvez le voir ici, il y a une assez grande variance et pas seulement avec |
| la dose unique, qui est alors une variation de tranche à tranche ou de cycle à cycle. |
| Et cela en fait tout un défi pour produire, mais d'un point de vue statistique, bien sûr, vous pouvez devenir de mieux en mieux si vous |
| visez le plus ... la médiane que vous souhaitez atteindre et obtenez le rendement le plus élevé. Donc automatiquement |
| la base de données complète pour cela est réalisée par une routine, qui s'exécute tous les soirs et, plus tard, nous, ou moi, utilisons le profileur de prédiction afin de viser la tension de claquage que le client souhaite pour son usage et dans ses spécifications. |
| Et oui, c'est donc l'état actuel. |
| C'est une relation linéaire, qui est finalement établie sur un second ordre. On peut en fait aussi inclure la relativité de la tranche, |
| mais pour l'instant, ce n'est pas nécessaire. Il faut également beaucoup plus d'exécutions pour établir cette relation. C'est ... il était déjà impossible d'améliorer le rendement de deux chiffres |
| avec ce processus de régression. |
| Et comme autre, oui, perspectives, disons, pour le contrôle de processus, je vais maintenant également scénariser le |
| processus d'ajustement et exporter à nouveau les coefficients dans un tableau Excel où, à la fin, puis à partir d'un menu Excel, qui peut également être contrôlé par le planning de production. |
| Le |
| les collègues de la planification de la production peuvent calculer eux-mêmes le dosage nécessaire avec les dernières |
| coefficients afin d'obtenir le rendement élevé par rapport à la tension de claquage. Oui, de sorte que, oui, la plupart du travail, évidemment, est dans les scripts, |
| mais c'était un beau voyage scénarisé. Et je tiens à remercier, bien sûr, First Sensor et surtout à nous aider à |
| être en mesure de présenter ici et, ainsi que Frank Kudella, qui était le propriétaire du processus la plupart du temps et ???, et surtout Roman Bottger du Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf. Merci beaucoup. |
