레벨 : 고급
Andrew Connell, Seagate 수석 엔지니어
확정 스크리닝 설계 (DSD)를 통해 실험자는 상대적으로 작은 실험 설계 (DOE)에서 많은 요인의 효과를 연구 할 수 있습니다. 간단히 말해서 DSD는 요인의 혼동을 방지하고 비선형 반응을 탐지 할 수 있다는 점에서 표준 스크리닝 설계 (예 : Plackett-Burman)를 개선 한 것입니다. DOE 검증 접근법에는 데이터 탐색 및 프로세스 개발을위한 반복적 인 식스 시그마 가이드 모델링 방법이 포함됩니다. DSD를 통해 실험자는 앨리어싱없이 주 효과, 2 차 및 상호 작용을 식별 할 수 있습니다. 이 프레젠테이션은 처음에 일반적인 실험 개념과 작업의 목적 및 실험 설계 공간 데이터의 시작을 탐구합니다. 이 프레젠테이션은 DSD를 사용하여 나노 가공 등급의 웨이퍼 기판 표면을 만들기위한 벌크 티타늄을위한 새로운 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 공정의 개발에 초점을 맞추기 위해 신속하게 진행될 것이며, 후속 DSD의 맞춤형 증강을 통해 견고한 3 차 공정에 도달 할 것입니다. 모델.
