スピーカー | トランスクリプト |
| ビクターケスラー | はい、こんにちは。私の名前はビクターケスラーです。 TEConnectivityに買収されたばかりのFirstSensorという会社で働いています。 |
| そして本日は、JMPによる線形回帰を使用した、特別な高エネルギーイオン実装プロセスとそのプロセス制御について説明します。 |
| そのため、First Sensorは、シリコンベースの圧力センサーと光学センサー、および光なだれを検出するためのよく知られた特別な製品を製造しています。 |
| フォトダイオード。たとえば、最近では、より軽いシステムで距離を検出するために使用されており、将来のアプリケーションの1つは自動運転になる可能性があります。 |
| そしてそこでは、少量の光を検出する必要があるため、非常に高速であるため、アバランシェフォトダイオードを検出する必要があります。 |
| に使える。 そして、これらのダイオードの特別な特性の1つは、それらのブレークダウン電圧です。 それは |
| アプリケーションのためにこのブレークダウン電圧を調整する必要があるお客様のための特別な特性。 |
| したがって、それを調整し、このブレークダウン電圧を仕様の範囲内に正しく設定する必要があります。これは、これらのダイオードにとって非常に敏感なプロセスです。 |
| これを使用します...これらのフォトダイオードのドーピングプロファイルでこのブレークダウン電圧を制御します。これも、この高エネルギーイオン実装プロセスで制御されます。 だから何が起こっているのかというと、明らかに、私たちはそれらを製造しているということです |
| ウェーハプロセスとマイクロテクノロジーを備えたフォトダイオードであるため、すべてのプロセスを通る長いルートがあります。 私たちはワンステップで追加します、私たちは |
| ドイツのザクセン州にあるHelmholtz-ZentrumDresden-Rossendorfのパートナーに連絡してください。パートナーは、高エネルギーでの投与量を非常に正確に制御するための特別な施設を備えています。 そして、このイオン実装プロセスは非常に高いエネルギーで行われます。 |
| 正確には言いません |
| 現在はエネルギーですが、通常のイオン注入装置では不可能なことであり、ウェーハを注入する必要がある場合は投与量が非常に少なくなります。これは別の課題です。 |
| また、感度が非常に高いため、Helmholtz-ZentrumDresden-Rossendorfで確認するための実際のインプロセス制御はありません。 |
| 正確な投与量。 したがって、実行する必要があるのは、異なる投与量レベル間の関係を確立することです。これにより、実際の結果がこのブレークダウン電圧の終わりになります。 |
| そしてこれは |
| また、ウェーハのサイズにもよりますが、異なるサイズのウェーハを製造しているためです。 |
| 2つの異なるサイズがあり、フォトダイオードが異なる製品領域があります |
| さまざまな波長の光を検出するために顧客向けに製造されています。 そして最終的には、10個の必要なプロセス制御が必要になります。 |
| 確立する必要があります。 そして別の |
| このプロセス制御の課題は、プロセス自体、イオンの実装、および絶縁破壊電圧の測定に、数週間、場合によっては数か月のタイムラインがあるため、これが合計されることです。 |
| ええ、それは挑戦です。 そして、より良いプロセス制御とより正確な制御を可能にするために私が思いついたのは、JMPを使用することです |
| このプロセス全体を自動的に制御するために。 だから何が確立されていた |
| ほとんどの...よくある...多くのスクリプトを使用して、毎日のルーチンでした |
| 夜間にスクリプトを自動的にスケジュールするタスクを実行するには、プロセスのバックエンドで実行されている適切な測定のための最新の方法の検索を開始します。 |
| また、すべての新しいウェーハプローバ測定結果を収集します。 現在、このためのデータベースがないため、これが必要です。 |
| それらの結果を検索するスクリプト。 そして、データを収集し、別のテーブルに保存されている埋め込みパラメータと結合します。 |
| 外れ値をフィルタリングし、統計値、特にウェーハの絶縁破壊電圧の媒体を非常に包括的なJMPデータテーブルに保存します。 |
| また途中で、データがあればいいのではないかと思ったので、目視検査用のウェーハマップも生成して自動保存します |
| 後の検査に。 そして、これは左側にあります。ここで画像を拡大します。 |
| そうそう。 |
| これらは...左側が絶縁破壊電圧で、反対側に別の特性がプロットされているので、検査に役立ちます。 そして、あなたはすでにここでブレークダウン電圧のかなりの分布が約あることを見ることができます... |
| ウェーハ上。 したがって、単一のウェーハ上でこの特性にかなりの変動があり、次にウェーハ間の変動があり、このブレークダウン電圧の実行（？）変動があります。 |
| ええ、ここで私はウェーハマップを生成しただけでなく、分布を含めて歩留まりなども計算したことがわかります。 そして、私がここでタイトルに入れた他のいくつかの特徴は、 |
| ロゴやメタ情報も同様です。 機密扱いのため、一部を黒くしました。 |
| しかし、そうです。すべてのウェーハ問題測定から自動的に保存します。これらのウェーハマップは、後で検査し、プロセスの感触をつかむために使用します。 また、他の実装パラメータの影響もここで確認できるので、かなり... |
| ええ |
| ... Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorfとの強力なフィードバックループがあるため、それらと一緒にプロセスを調整します。 |
| そうそう、それは毎晩自動的に生成される目の保養です。 それは素晴らしいことですが、私が言ったように、プロセスをより適切に制御できるようにするには、投与量と絶縁破壊電圧についての関係を実際に構築する必要があります。 そして、これはあなたが見ることができるここで行われます |
| 多くのウェーハの絶縁破壊電圧の中央値と、実装のための投与量...使用量との関係。 そして、あなたがここで見ることができるように、それだけでなく、かなりの大きな変動があります |
| 単回投与。これは、ウェーハごとまたは実行ごとの変動です。 |
| そして、それは生産するためにそれをかなりの挑戦にします、しかし統計的な観点から、もちろん、あなたがするならばあなたはますます良くなることができます |
| 最も多くを目指してください...あなたが達成したい中央値と最高の収量を得ます。 だから自動的に |
| このための完全なデータベースは、毎晩実行されるルーチンによって実現されます。その後、私たちまたは私は、顧客が目的と仕様の範囲内で必要とする絶縁破壊電圧を目指すために、予測プロファイラーを使用します。 |
| そしてそうそう、それが今日の状態です。 |
| これは線形関係であり、最終的には2次で確立されます。 実際には、ウェーハの相対性理論を含めることもできます。 |
| しかし今のところ、それは必要ありません。 また、その関係を確立するために、はるかに多くの実行が必要です。 それは...収量を2桁改善することはすでに不可能でした |
| この回帰プロセスで。 |
| そして、さらに、ええ、見通し、たとえば、プロセス制御については、スクリプトを作成します |
| プロセスをフィッティングし、係数をExcelテーブルに再度エクスポートします。最後に、Excelメニューから、生産計画によって制御することもできます。 |
| ザ・ |
| 生産計画の同僚は、最新のものを使用して必要な投与量を自分で計算できます |
| 絶縁破壊電圧に関して高い歩留まりを得るための係数。 はい、そうです、そうです、ほとんどの作業は明らかにスクリプト内にあります、 |
| しかし、それをスクリプト化するのは素晴らしい旅でした。 もちろん、First Sensorに感謝し、特に |
| ここと、ほとんどの時間プロセスの所有者であったフランク・クデラと???、特にヘルムホルツ-ツェントルムドレスデン-ロッセンドルフのローマンボットガーを紹介することができます。 どうもありがとう。 |
