藍天工藝/系統開發的確定性篩選設計（DSD）（2021-EU-30MP-754）級別：高級
希捷高級工程師Andrew Connell
確定性篩選設計（DSD）使實驗人員可以在相對較小的實驗設計（DOE）中研究大量因素的影響。 簡而言之，DSD是標準篩選設計（例如Plackett-Burman）的改進，因為它們可以防止因素混淆，也可以檢測非線性響應。 DOE驗證方法涉及用於數據探索和過程開發的六西格瑪迭代建模方法。 DSD使實驗人員無需混疊即可識別主要效果，二次方和相互作用。 本演示文稿將首先探討一般的實驗概念和工作目的以及實驗設計空間數據的建立。 演講將很快進行，重點放在開髮用於塊狀鈦的新化學機械平面化（CMP）工藝，以使用DSD製造納米加工級晶圓基底表面，以及隨後定制DSD的增強以測試並實現可靠的三階工藝。模型。
爆發美國能源部質量與可靠性
