Nivel: avanzado
Andrew Connell, ingeniero sénior, Seagate
Los diseños de cribado definitivo (DSD) permiten al experimentador estudiar los efectos de una gran cantidad de factores en un diseño de experimento relativamente pequeño (DOE). En términos simples, los DSD son una mejora en los diseños de detección estándar (como el Plackett-Burman) en el sentido de que pueden prevenir la confusión de factores y también detectar respuestas no lineales. Los enfoques de validación del DOE implican una metodología iterativa de modelado guiada Six Sigma para la exploración de datos y el desarrollo de procesos. Los DSD permiten al experimentador identificar los efectos principales, las cuadráticas y las interacciones sin alias. Esta presentación explorará inicialmente los conceptos experimentales generales y los objetivos del trabajo y el inicio de los datos espaciales de diseño experimental. La presentación avanzará rápidamente para enfocarse en el desarrollo de un nuevo proceso de Planarización Mecánica Química (CMP) para titanio a granel para hacer superficies de sustrato de obleas de grado de nanofabricación utilizando DSD, y el posterior aumento personalizado del DSD para probar y llegar a un proceso robusto de tercer orden. modelo.
