揚聲器 | 成績單 |
| 維克多·凱斯勒 | 是的，你好，我叫維克多·凱斯勒。 我在 First Sensor 公司工作，該公司剛剛被 TE Connectivity 收購。 |
| 今天我將介紹特殊的高能離子實施過程以及使用 JMP 線性回歸對其進行過程控制。 |
| 因此，First Sensor 生產矽基壓力和光學傳感器以及我們著名的用於檢測光雪崩的特殊產品 |
| 光電二極管。例如，它們現在被用在輕型系統中來檢測範圍，未來的應用之一可能是自動駕駛。 |
| 在那裡，有必要檢測少量的光，因此速度相當快，因此我們的雪崩光電二極管 |
| 可以使用。 這些二極管的特性之一是它們的擊穿電壓。 這就是 |
| 為我們的客戶提供特殊特性，他們需要根據應用調整擊穿電壓。 |
| 因此，我們需要對此進行調整，並將擊穿電壓設置在規格範圍內，顯然，這對於這些二極管來說是一個非常敏感的過程。 |
| 我們使用這個......我們通過這些光電二極管的摻雜分佈來控制擊穿電壓，並且這又是通過這種高能離子實現過程來控制的。 所以，顯然，我們正在捏造這些 |
| 光電二極管採用晶圓工藝和微技術，因此它們在所有工藝過程中都有很長的路線。 我們一步一步添加，我們 |
| 請聯繫我們位於德國薩克森州亥姆霍茲中心德累斯頓羅森多夫的合作夥伴，他們擁有特殊的設施，可以在高能量下實現真正精確的劑量控制。 而且這個離子實現過程是在相當高的能量下完成的。 |
| 具體的我就不說了 |
| 現在能量很高，但這是普通離子注入機無法做到的，而且當需要用晶圓注入時，劑量非常低，這是另一個挑戰。 |
| 而且它非常敏感，以至於亥姆霍茲德累斯頓羅森多夫中心沒有真正的過程控制來檢查 |
| 確切的劑量。 所以需要做的就是建立不同劑量水平與已註入的劑量之間的關係，然後我們的實際結果就是最終的擊穿電壓。 |
| 這是 |
| 還取決於晶圓尺寸，因為我們將晶圓製造成不同尺寸。 |
| 我們有兩種不同的尺寸，我們有不同的產品領域，其中光電二極管 |
| 為客戶製造用於檢測不同波長的光。 最後，我們得到了大約 10 個必要的流程控制， |
| 這需要建立。 還有另一個 |
| 這種過程控制的挑戰在於，過程本身、離子的實施和擊穿電壓的測量，有數週甚至數月的時間線，所以這個時間加起來。 |
| 是的，這是一個挑戰。 為了能夠更好地進行過程控制和更精確的控制，我想到的是使用 JMP |
| 以便自動控制整個過程。 那麼什麼是建立 |
| 最……好在……有很多腳本是每天的例行公事 |
| 為了在晚上自動安排腳本的任務，開始尋找正確測量的最新方法，這些測量是在流程的後端完成的。 |
| 它收集所有新的晶圓探測器測量結果。 這是必要的，因為我們目前沒有這方面的數據庫，所以我需要 |
| 搜索這些結果的腳本。 它收集數據，將其與保存在另一個表中的植入參數結合起來， |
| 並過濾異常值並將統計值，特別是晶圓擊穿電壓的介質保存到相當全面的JMP數據表中。 |
| 另外，因為我想，如果有可用的數據，我寧願生成一些晶圓圖用於目視檢查並自動保存它們 |
| 以供後期檢查。 這可以在左側看到，我現在將放大圖像。 |
| 嗯是的。 |
| 這些是......左側是擊穿電壓，另一側繪製了另一個特性，這對我們檢查很有用。 您已經可以在這裡看到擊穿電壓的分佈相當大...... |
| 在晶圓上。 因此，我們在單個晶圓上的此特性有相當大的差異，然後我們有晶圓與晶圓之間的差異以及該擊穿電壓的運行（？）差異。 |
| 是的，您可以在這裡看到，我不僅生成了晶圓圖，還包括了分佈併計算了產量等。 我在標題中提到了一些其他特徵， |
| 以及徽標和元信息。 因為是機密，所以我把其中一些塗黑了。 |
| 但是，是的，所以我們會自動保存每個晶圓問題測量結果，這些晶圓圖用於以後檢查並了解工藝。 我還可以在這裡看到其他實現參數的影響，所以我們有相當...... |
| 是的 |
| ...與亥姆霍茲德累斯頓羅森多夫中心有強大的反饋循環，因此我們與他們一起調整流程。 |
| 是的，這是每天晚上自動生成的一種養眼的東西。 這很好，但為了現在能夠更好地控制該過程，正如我所說，我們需要真正建立劑量和擊穿電壓之間的關係。 這是在這裡完成的，你可以在那裡看到 |
| 許多晶圓的擊穿電壓中值與劑量之間的關係...實施時的使用劑量。 而且，正如您在這裡所看到的，存在相當大的差異，而且不僅僅是 |
| 單一劑量，然後是晶圓與晶圓或運行之間的變化。 |
| 這使得製作成為一個相當大的挑戰，但從統計的角度來看，當然，如果你 |
| 瞄準您想要達到的最高...中位數並獲得最高收益。 所以自動 |
| 為此，完整的數據庫是通過每天晚上運行的例程實現的，稍後，我們或我使用預測分析器來瞄準客戶想要的擊穿電壓，以實現其目的並在其規格範圍內。 |
| 是的，這就是今天的情況。 |
| 這是一種線性關係，最終是建立在二階關係上的。 我們實際上還可以包括晶圓相對論， |
| 但目前還沒有必要。 它還需要更多的運行才能建立這種關係。 這……產量提升兩位數已經不可能了 |
| 通過這個回歸過程。 |
| 作為進一步的，是的，展望，比如說，對於過程控制，我現在還將編寫腳本 |
| 擬合過程並再次將係數導出到 Excel 表，最後從 Excel 菜單導出，這也可以通過生產計劃進行控制。 |
| 這 |
| 生產計劃的同事可以根據最新的數據自行計算所需的用量 |
| 係數以獲得相對於擊穿電壓的高產量。 是的，所以，是的，顯然，大部分工作都是在腳本內進行的， |
| 但編寫腳本是一次愉快的旅程。 當然，我要感謝 First Sensor，特別是幫助我們 |
| 能夠在這裡介紹的還有弗蘭克·庫德拉（Frank Kudella），他在大部分時間裡都是該過程的所有者，尤其是來自德累斯頓·羅森多夫亥姆霍茲中心的羅曼·博特格（Roman Bottger）。 多謝。 |
