揚聲器 | 成績單 |
| 維克多·凱斯勒 | 是的，您好，我叫維克多·凱斯勒（Victor Kessler）。 我為First Sensor公司工作，該公司剛剛被TE Connectivity收購。 |
| 今天，我將介紹特殊的高能離子實施過程以及使用JMP進行線性回歸的過程控制。 |
| 因此，First Sensor生產基於矽的壓力和光學傳感器，以及我們眾所周知的用於檢測雪崩的特殊產品。 |
| 光電二極管。例如，如今，它們被用於較輕的系統中以檢測距離，而未來的應用之一可能是自動駕駛。 |
| 而且在那裡，有必要檢測少量的光，因此必須非常快，因此我們的雪崩光電二極管 |
| 可以使用。 這些二極管的特殊特性之一是其擊穿電壓。 那是 |
| 針對我們客戶的特殊特性，他們需要在應用中調整此擊穿電壓。 |
| 因此，我們顯然需要對其進行調整，並將擊穿電壓設置為恰好在規格範圍內，這對於那些二極管而言是相當敏感的過程。 |
| 我們使用它...我們用那些光電二極管的摻雜分佈來控制擊穿電壓，並再次通過這種高能量離子實現過程來控制。 所以發生的事情是，顯然，我們正在製造那些 |
| 光電二極管採用晶圓工藝和微技術，因此它們在所有工藝中的路途都很長。 我們一步一步地添加，我們 |
| 在位於德國薩克森州的Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf與我們的合作夥伴聯繫，他們擁有特殊的設施，以實現對高能量劑量的真正精確控制。 並且該離子實施過程是在相當高的能量下完成的。 |
| 我不會說確切的 |
| 目前，它的能量非常大，但這是普通離子注入機無法做到的，當需要將其註入晶圓時，劑量確實很低，這是另一個挑戰。 |
| 而且它是如此的敏感，以至於在Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf沒有可用的過程中控制來檢查 |
| 確切的劑量。 因此，需要做的是建立不同劑量水平與被植入物之間的關係，然後在擊穿電壓結束時得到我們的實際結果。 |
| 這是 |
| 還要取決於晶圓尺寸，因為我們要製造不同尺寸的晶圓。 |
| 我們有兩種不同的尺寸，我們在光電二極管的產品領域也有所不同 |
| 為客戶製造，用於檢測不同波長的光。 最後，我們得到了10種必要的流程控制， |
| 需要建立。 還有一個 |
| 此過程控制的挑戰在於，過程本身，離子的實現方式和擊穿電壓的測量的時間表需要數週，有時甚至數月之久，因此這加起來了。 |
| 是的，這是一個挑戰。 為了能夠更好地進行過程控制和進行更精確的控制，我想到了使用JMP |
| 為了自動控制整個過程。 那麼正在建立什麼 |
| 大多數...很好...有很多腳本是每天的例行工作 |
| 要在晚上自動安排腳本任務，開始搜索最新的方法以進行正確的測量，這些方法在流程的後端進行。 |
| 並收集所有新的晶圓探測器測量結果。 這是必要的，因為我們目前沒有數據庫，所以我需要 |
| 搜索這些結果的腳本。 然後收集數據，並將其與植入參數合併，這些參數保存在另一個表中， |
| 並過濾異常值並將統計值（尤其是晶圓擊穿電壓的中值）保存到非常全面的JMP數據表中。 |
| 同樣在路上，由於我的想法，如果有可用的數據，我寧願生成一些晶片圖以進行目視檢查並自動保存它們 |
| 以後再檢查。 這可以在左側看到，我現在將放大圖像。 |
| 嗯是的。 |
| 這些是...在左側是擊穿電壓，在另一側繪製了另一個特性，這對我們進行檢查很有用。 而且您已經可以在此處看到擊穿電壓的分佈情況大約是... |
| 在晶圓上。 因此，我們在單個晶片上具有相當大的這種特性差異，然後在每個擊穿電壓之間存在一個晶片間差異，並且存在運行（？）差異。 |
| 是的，您可以在這裡看到我不僅生成了晶圓圖，還包括分佈併計算了產量，依此類推。 我在標題中加上了一些其他特徵， |
| 以及徽標和元信息。 我將其中的一些塗成黑色，因為它是機密的。 |
| 但是，是的，所以我們可以自動保存每次晶片問題的測量結果，並保存這些晶片圖，以備日後檢查和摸索過程。 我也可以在這裡看到其他實現參數的影響，因此我們有... |
| 是的 |
| ...與Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf有著強大的反饋迴路，因此我們與他們一起調整了流程。 |
| 是的，這是一個每晚自動產生的引人注目的糖果。 很好，但是如我所說，為了現在能夠更好地控製過程，我們需要真正建立關於劑量和擊穿電壓的關係。 這是在這裡完成的，您可以在其中看到 |
| 許多晶圓的擊穿電壓的中位數與劑量...實施劑量之間的關係。 而且，正如您在此處看到的那樣，存在很大的差異，不僅 |
| 單一劑量，然後是晶圓之間或每次運行之間的差異。 |
| 這給生產帶來了很大的挑戰，但是從統計學的角度來看，如果 |
| 追求最高...您想要達到的中位數並獲得最高的收益。 所以自動 |
| 完整的數據庫是通過一個例程來實現的，該例程每天晚上運行，然後，我們（或我）使用預測分析器來確定客戶所需的擊穿電壓，以使其符合其規格。 |
| 是的，這就是今天的狀態。 |
| 這是線性關係，最終建立在二階關係上。 實際上，我們還可以包括晶圓相對性， |
| 但是目前，這不是必需的。 為了建立這種關係，還需要進行更多的運行。 ...已經不可能將產量提高兩個數字 |
| 通過這個回歸過程。 |
| 是的，進一步說，展望，對於流程控制，我現在還將編寫腳本 |
| 擬合過程，然後再次將係數導出到Excel表中，最後從Excel菜單中導出，該菜單也可以由生產計劃進行控制。 |
| 這 |
| 生產計劃的同事可以自己計算出最新的所需劑量 |
| 為了獲得相對於擊穿電壓的高成品率，需要使用多個係數。 是的，是的，很顯然，大部分工作都在腳本中， |
| 但這是一段不錯的腳本旅程。 我當然要感謝First Sensor，尤其是要幫助我們 |
| 能夠在這裡展示，還有弗蘭克·庫德拉（Frank Kudella），他是該過程的大部分時間和時間的所有者，尤其是赫爾姆霍茨-曾特倫德累斯頓-羅森多夫的Roman Bottger。 非常感謝。 |
