스피커 | 성적 증명서 |
| 빅터 케슬러 | 네, 안녕하세요. 저는 Victor Kessler입니다. 저는 TE Connectivity가 방금 인수 한 First Sensor 회사에서 일하고 있습니다. |
| 오늘 저는 특별한 고 에너지 이온 구현 프로세스와 JMP를 사용한 선형 회귀를 사용한 프로세스 제어에 대해 설명합니다. |
| 따라서 First Sensor는 실리콘 기반 압력 및 광학 센서와 빛 눈사태를 감지하는 잘 알려진 특수 제품을 생산합니다. |
| 포토 다이오드. 예를 들어, 오늘날에는 더 가벼운 시스템에서 범위를 감지하는 데 사용되며 미래의 애플리케이션 중 하나는 자율 주행이 될 수 있습니다. |
| 그리고 거기에서 소량의 빛을 감지하여 매우 빠르게 감지해야합니다. 따라서 우리의 눈사태 포토 다이오드는 |
| 사용할 수 있습니다. 그리고 이러한 다이오드의 특별한 특성 중 하나는 항복 전압입니다. 그게 |
| 애플리케이션을 위해이 항복 전압을 조정해야하는 고객을위한 특별한 특성. |
| 그래서 우리는 그것을 조정하고이 항복 전압을 사양 내에서 바로 설정해야합니다. 분명히 이것은 이러한 다이오드에 대해 매우 민감한 프로세스입니다. |
| 우리는 이것을 사용합니다. 우리는 포토 다이오드의 도핑 프로파일로이 항복 전압을 제어합니다. 그리고 이것은 다시이 고 에너지 이온 구현 프로세스로 제어됩니다. 그래서 무슨 일이 일어나고 있는지는 분명히 우리가 그것들을 조작하고 있다는 것입니다. |
| 웨이퍼 프로세스와 마이크로 기술이 적용된 포토 다이오드는 모든 프로세스를 통과하는 긴 경로를 가지고 있습니다. 우리는 한 단계로 추가합니다. |
| 독일 내 Saxony에 위치한 Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf의 파트너에게 문의하십시오. 그들은 고 에너지에서 투여 량을 정확하게 제어 할 수있는 특별한 시설을 갖추고 있습니다. 그리고이 이온 구현 과정은 상당히 높은 에너지로 이루어집니다. |
| 나는 정확한 것을 말하지 않을 것이다 |
| 지금은 에너지를 절약 할 수 있지만 일반적인 이온 주입기로는 할 수없는 일이며 웨이퍼를 주입해야 할 때는 복용량이 매우 적습니다. 이는 또 다른 문제입니다. |
| 또한 매우 민감하여 Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf에서 확인할 수있는 실제 공정 중 제어가 없습니다. |
| 정확한 복용량. 따라서해야 할 일은 서로 다른 선량 수준 사이의 관계를 설정 한 다음이 항복 전압이 끝날 때 실제 결과를 얻는 것입니다. |
| 그리고 이건 |
| 또한 웨이퍼를 다른 크기로 제작하고 있기 때문에 웨이퍼 크기에 따라 다릅니다. |
| 우리는 두 가지 크기가 있으며 포토 다이오드가 |
| 다양한 파장의 빛을 감지하기 위해 고객을 위해 제작되었습니다. 그리고 결국에는 10 가지의 필요한 프로세스 제어가 필요합니다. |
| 설정해야합니다. 그리고 또 다른 |
| 이 공정 제어의 과제는 공정 자체, 이온 구현 및 항복 전압 측정이 몇 주, 때로는 몇 달의 타임 라인을 가지므로 이것이 합산된다는 것입니다. |
| 네, 도전입니다. 그리고 더 나은 공정 제어와보다 정확한 제어를 위해 제가 생각 해낸 것은 JMP를 사용하는 것입니다. |
| 이 전체 프로세스를 자동으로 제어하기 위해서입니다. 그래서 무엇을 확립하고 있었습니까? |
| 대부분의 ... 음 ... 많은 스크립트와 함께 일상적인 |
| 밤에 스크립트를 자동으로 예약하는 작업을 수행하기 위해 프로세스의 백엔드에서 수행되는 적절한 측정을위한 최신 방법을 검색하기 시작합니다. |
| 그리고 모든 새로운 웨이퍼 프로 버 측정 결과를 수집합니다. 현재이 작업에 대한 데이터베이스가 없기 때문에이 작업이 필요합니다. |
| 그 결과를 검색하는 스크립트. 그리고 데이터를 수집하고 다른 테이블에 저장된 이식 매개 변수와 결합합니다. |
| 이상 값을 필터링하고 통계 값, 특히 웨이퍼의 항복 전압 매체를 매우 포괄적 인 JMP 데이터 테이블에 저장합니다. |
| 또한 도중에 데이터를 사용할 수 있으면 시각적 검사를 위해 웨이퍼 맵을 생성하고 자동으로 저장한다고 생각했기 때문에 |
| 나중에 검사합니다. 여기 왼쪽에서 볼 수 있습니다. 이제 이미지를 확대 해 보겠습니다. |
| 그래. |
| 왼쪽에는 항복 전압이 있고 다른쪽에는 또 다른 특성이 표시되어 검사에 유용합니다. 그리고 당신은 이미 여기에서 항복 전압의 분포가 꽤 있다는 것을 볼 수 있습니다. |
| 웨이퍼 위에. 그래서 우리는 단일 웨이퍼에서이 특성의 상당한 차이를 가지고 있고, 웨이퍼 대 웨이퍼 차이와이 항복 전압의 실행 (?) 차이를 가지고 있습니다. |
| 예, 여기에서 제가 웨이퍼 맵을 생성했을뿐만 아니라 분포를 포함하고 수율도 계산했습니다. 그리고 제가 여기 제목에 넣은 다른 특징들, |
| 로고와 메타 정보도 있습니다. 기밀이기 때문에 일부를 검정색으로 만들었습니다. |
| 그러나 예, 그래서 우리는 모든 웨이퍼 문제 측정에서 자동으로 저장합니다.이 웨이퍼 맵은 나중에 검사하고 프로세스에 대한 느낌을 얻습니다. 또한 여기에서 다른 구현 매개 변수의 영향을 볼 수 있습니다. |
| 네 |
| ... Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf와의 강력한 피드백 루프가 있으므로 우리는 그들과 함께 프로세스를 조정합니다. |
| 그리고 그것은 매일 밤 자동으로 생산되는 눈 사탕입니다. 좋지만 이제 프로세스를 더 잘 제어 할 수 있으려면 복용량과 항복 전압에 대한 관계를 실제로 구축해야합니다. 그리고 이것은 여기에서 수행됩니다. |
| 선량과 관련하여 많은 웨이퍼의 항복 전압 중간 값 사이의 관계 ... 구현을위한 사용량 선량. 그리고 여기에서 볼 수 있듯이 상당한 차이가 있습니다. |
| 단일 투여 량은 웨이퍼 간 또는 실행 간 변동입니다. |
| 그리고 그것은 생산하는 데 상당히 어려운 일이지만, 통계적 관점에서 볼 때 당연히 당신은 더 좋아지고 더 나아질 수 있습니다. |
| 달성하고자하는 중앙값을 최대한 목표로하고 가장 높은 수익률을 얻으십시오. 그래서 자동으로 |
| 이를위한 완전한 데이터베이스는 매일 밤 실행되는 루틴에 의해 달성되며 나중에 고객이 원하는 목적과 사양 내에서 원하는 항복 전압을 목표로하기 위해 예측 프로파일 러를 사용합니다. |
| 그리고 네, 이것이 오늘의 상태입니다. |
| 그것은 선형적인 관계이며 결국 두 번째 순서로 확립됩니다. 실제로 웨이퍼 상대성 이론도 포함 할 수 있습니다. |
| 하지만 지금은 그럴 필요가 없습니다. 또한 해당 관계를 설정하려면 훨씬 더 많은 실행이 필요합니다. 수율을 두 자릿수만큼 향상시키는 것은 이미 불가능했습니다. |
| 이 회귀 과정으로. |
| 그리고 더 나아가, 예, 예를 들어, 프로세스 제어를 위해 이제 스크립트를 작성하겠습니다. |
| 피팅 프로세스를 수행하고 계수를 Excel 테이블로 다시 내 보낸 다음 결국 Excel 메뉴에서 생산 계획을 통해 제어 할 수 있습니다. |
| 그만큼 |
| 생산 계획의 동료는 최신으로 필요한 복용량을 스스로 계산할 수 있습니다. |
| 항복 전압에 대해 높은 수율을 얻기 위해 계수. 예, 예, 대부분의 작업은 분명히 스크립트 내에 있습니다. |
| 하지만 스크립팅을하는 것은 멋진 여정이었습니다. 물론 First Sensor에 감사 드리며 특히 |
| 대부분의 시간 동안 프로세스의 소유자였던 Frank Kudella, 특히 Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf의 Roman Bottger가 여기에서 발표 할 수 있습니다. 감사합니다. |
