Livello: avanzato
Andrew Connell, ingegnere senior, Seagate
I progetti di screening definitivi (DSD) consentono a uno sperimentatore di studiare gli effetti di un gran numero di fattori in un progetto di esperimento (DOE) relativamente piccolo. In termini semplici, i DSD rappresentano un miglioramento rispetto ai progetti di screening standard (come il Plackett-Burman) in quanto possono prevenire la confusione di fattori e rilevare anche risposte non lineari. Gli approcci di convalida DOE implicano una metodologia iterativa di modellazione guidata Six Sigma per l'esplorazione dei dati e lo sviluppo dei processi. I DSD consentono allo sperimentatore di identificare gli effetti principali, le quadratiche e le interazioni senza aliasing. Questa presentazione esplorerà inizialmente i concetti sperimentali generali e gli obiettivi del lavoro e l'inizio dei dati spaziali di progettazione sperimentale. La presentazione progredirà rapidamente per concentrarsi sullo sviluppo di un nuovo processo di planarizzazione meccanica chimica (CMP) per il titanio sfuso per realizzare superfici di substrato wafer di grado nanofabbricazione utilizzando DSD e successivo aumento personalizzato del DSD per testare e arrivare a un robusto processo di terzo ordine modello.
