Niveau: avancé
Andrew Connell, ingénieur principal, Seagate
Les plans de criblage définitifs (DSD) permettent à un expérimentateur d'étudier les effets d'un grand nombre de facteurs dans un plan d'expérience relativement petit (DOE). En termes simples, les DSD sont une amélioration par rapport aux plans de dépistage standard (comme le Plackett-Burman) en ce sens qu'ils peuvent empêcher la confusion des facteurs et également détecter les réponses non linéaires. Les approches de validation DOE impliquent une méthodologie de modélisation itérative guidée Six Sigma pour l'exploration des données et le développement de processus. Les DSD permettent à l'expérimentateur d'identifier les effets principaux, les quadratiques et les interactions sans aliasing. Cette présentation explorera dans un premier temps les concepts expérimentaux généraux et les objectifs du travail et la création de données spatiales de conception expérimentale. La présentation progressera rapidement pour se concentrer sur le développement d'un nouveau processus de planarisation chimico-mécanique (CMP) pour le titane en vrac afin de fabriquer des surfaces de substrat de plaquette de qualité nanofabrication à l'aide de DSD, et l'augmentation personnalisée ultérieure du DSD pour tester et arriver à un processus robuste de 3e ordre modèle.
