扬声器 | 成绩单 |
| 维克多·凯斯勒 | 是的，你好，我叫维克多·凯斯勒。 我在 First Sensor 公司工作，该公司刚刚被 TE Connectivity 收购。 |
| 今天我将介绍特殊的高能离子实施过程以及使用 JMP 线性回归对其进行过程控制。 |
| 因此，First Sensor 生产硅基压力和光学传感器以及我们著名的用于检测光雪崩的特殊产品 |
| 光电二极管。例如，它们现在被用在轻型系统中来检测范围，未来的应用之一可能是自动驾驶。 |
| 在那里，有必要检测少量的光，因此速度相当快，因此我们的雪崩光电二极管 |
| 可以使用。 这些二极管的特性之一是它们的击穿电压。 这就是 |
| 为我们的客户提供特殊特性，他们需要根据应用调整击穿电压。 |
| 因此，我们需要对此进行调整，并将击穿电压设置在规格范围内，显然，这对于这些二极管来说是一个相当敏感的过程。 |
| 我们使用这个......我们通过这些光电二极管的掺杂分布来控制击穿电压，并且这又是通过这种高能离子实现过程来控制的。 所以，显然，我们正在捏造这些 |
| 光电二极管采用晶圆工艺和微技术，因此它们在所有工艺过程中都有很长的路线。 我们一步一步添加，我们 |
| 请联系我们位于德国萨克森州亥姆霍兹中心德累斯顿罗森多夫的合作伙伴，他们拥有特殊的设施，可以在高能量下实现真正精确的剂量控制。 而且这个离子实现过程是在相当高的能量下完成的。 |
| 具体的我就不说了 |
| 现在能量很高，但这是普通离子注入机无法做到的，而且当需要用晶圆注入时，剂量非常低，这是另一个挑战。 |
| 而且它非常敏感，以至于亥姆霍兹德累斯顿罗森多夫中心没有真正的过程控制来检查 |
| 确切的剂量。 所以需要做的就是建立不同剂量水平与已注入的剂量之间的关系，然后我们的实际结果就是最终的击穿电压。 |
| 这是 |
| 还取决于晶圆尺寸，因为我们将晶圆制造成不同尺寸。 |
| 我们有两种不同的尺寸，我们有不同的产品领域，其中光电二极管 |
| 为客户制造用于检测不同波长的光。 最后，我们得到了大约 10 个必要的流程控制， |
| 这需要建立。 还有另一个 |
| 这种过程控制的挑战在于，过程本身、离子的实施和击穿电压的测量，有数周甚至数月的时间线，所以这个时间加起来。 |
| 是的，这是一个挑战。 为了能够更好地进行过程控制和更精确的控制，我想到的是使用 JMP |
| 以便自动控制整个过程。 那么什么是建立 |
| 最……好在……有很多脚本是每天的例行公事 |
| 为了在晚上自动安排脚本的任务，开始寻找正确测量的最新方法，这些测量是在流程的后端完成的。 |
| 它收集所有新的晶圆探测器测量结果。 这是必要的，因为我们目前没有这方面的数据库，所以我需要 |
| 搜索这些结果的脚本。 它收集数据，将其与保存在另一个表中的植入参数结合起来， |
| 并过滤异常值并将统计值，特别是晶圆击穿电压的介质保存到相当全面的JMP数据表中。 |
| 另外，因为我想，如果有可用的数据，我宁愿生成一些晶圆图用于目视检查并自动保存它们 |
| 以供后期检查。 这可以在左侧看到，我现在将放大图像。 |
| 嗯是的。 |
| 这些是......左侧是击穿电压，另一侧绘制了另一个特性，这对我们检查很有用。 您已经可以在这里看到击穿电压的分布相当大...... |
| 在晶圆上。 因此，我们在单个晶圆上的此特性有相当大的差异，然后我们有晶圆与晶圆之间的差异以及该击穿电压的运行（？）差异。 |
| 是的，您可以在这里看到，我不仅生成了晶圆图，还包括了分布并计算了产量等。 我在标题中提到了一些其他特征， |
| 以及徽标和元信息。 因为是机密，所以我把其中一些涂黑了。 |
| 但是，是的，所以我们会自动保存每个晶圆问题测量结果，这些晶圆图用于以后检查并了解工艺。 我还可以在这里看到其他实现参数的影响，所以我们有相当...... |
| 是的 |
| ...与亥姆霍兹德累斯顿罗森多夫中心有强大的反馈循环，因此我们与他们一起调整流程。 |
| 是的，这是每天晚上自动生成的一种养眼的东西。 这很好，但为了现在能够更好地控制该过程，正如我所说，我们需要真正建立剂量和击穿电压之间的关系。 这是在这里完成的，你可以在那里看到 |
| 许多晶圆的击穿电压中值与剂量之间的关系...实施时的使用剂量。 而且，正如您在这里所看到的，存在相当大的差异，而且不仅仅是 |
| 单一剂量，然后是晶圆与晶圆或运行之间的变化。 |
| 这使得制作成为一个相当大的挑战，但从统计的角度来看，当然，如果你 |
| 瞄准您想要达到的最高...中位数并获得最高收益。 所以自动 |
| 为此，完整的数据库是通过每天晚上运行的例程实现的，稍后，我们或我使用预测分析器来瞄准客户想要的击穿电压，以实现其目的并在其规格范围内。 |
| 是的，这就是今天的情况。 |
| 这是一种线性关系，最终是建立在二阶关系上的。 我们实际上还可以包括晶圆相对论， |
| 但目前还没有必要。 它还需要更多的运行才能建立这种关系。 这……产量提升两位数已经不可能了 |
| 通过这个回归过程。 |
| 作为进一步的，是的，展望，比如说，对于过程控制，我现在还将编写脚本 |
| 拟合过程并再次将系数导出到 Excel 表，最后从 Excel 菜单导出，这也可以通过生产计划进行控制。 |
| 这 |
| 生产计划的同事可以根据最新的数据自行计算所需的用量 |
| 系数以获得相对于击穿电压的高产量。 是的，所以，是的，显然，大部分工作都是在脚本内进行的， |
| 但编写脚本是一次愉快的旅程。 当然，我要感谢 First Sensor，特别是帮助我们 |
| 能够在这里介绍的还有弗兰克·库德拉（Frank Kudella），他在大部分时间里都是该过程的所有者，尤其是来自德累斯顿·罗森多夫亥姆霍兹中心的罗曼·博特格（Roman Bottger）。 多谢。 |
