Stufe: Fortgeschritten
Andrew Connell, leitender Ingenieur, Seagate
Definitive Screening-Designs (DSDs) ermöglichen es einem Experimentator, die Auswirkungen einer großen Anzahl von Faktoren in einem relativ kleinen Experiment-Design (DOE) zu untersuchen. In einfachen Worten, DSDs sind eine Verbesserung gegenüber Standard-Screening-Designs (wie dem Plackett-Burman), da sie Verwechslungen von Faktoren verhindern und auch nichtlineare Reaktionen erkennen können. DOE-Validierungsansätze umfassen eine iterative Six Sigma-gesteuerte Modellierungsmethode für die Datenexploration und Prozessentwicklung. DSDs ermöglichen es dem Experimentator, Haupteffekte, Quadrate und Interaktionen ohne Aliasing zu identifizieren. In dieser Präsentation werden zunächst die allgemeinen experimentellen Konzepte und Ziele der Arbeit sowie der Beginn experimenteller Entwurfsraumdaten untersucht. Die Präsentation wird sich schnell auf die Entwicklung eines neuen CMP-Verfahrens (Chemical Mechanical Planarization) für Titan in loser Schüttung konzentrieren, mit dem Wafer-Substratoberflächen mit Nanofabrikationsqualität unter Verwendung von DSD hergestellt werden können, und die anschließende kundenspezifische Erweiterung des DSD, um einen robusten Prozess 3. Ordnung zu testen und zu erreichen Modell.
