扬声器 | 成绩单 |
| 维克多·凯斯勒 | 是的，您好，我叫维克多·凯斯勒（Victor Kessler）。 我为First Sensor公司工作，该公司刚刚被TE Connectivity收购。 |
| 今天，我将介绍特殊的高能离子实施过程以及使用JMP进行线性回归的过程控制。 |
| 因此，First Sensor生产基于硅的压力和光学传感器以及我们众所周知的用于检测雪崩的特殊产品 |
| 光电二极管。例如，如今，它们被用于较轻的系统中以检测距离，而未来的应用之一可能是自动驾驶。 |
| 而且在那里，有必要检测少量的光，因此必须非常快，因此我们的雪崩光电二极管 |
| 可以使用。 这些二极管的特殊特性之一是其击穿电压。 那是 |
| 针对我们客户的特殊特性，他们需要在应用中调整此击穿电压。 |
| 因此，我们显然需要对其进行调整，并将击穿电压设置为恰好在规格范围内，这对于那些二极管而言是相当敏感的过程。 |
| 我们使用它...我们用那些光电二极管的掺杂分布来控制击穿电压，并再次通过这种高能离子实现过程来控制。 所以发生的事情是，显然，我们正在制造那些 |
| 光电二极管采用晶圆工艺和微技术，因此它们在所有工艺中的路途都很长。 我们一步一步地添加，我们 |
| 在位于德国萨克森州的Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf与我们的合作伙伴联系，他们拥有特殊的设施，以实现对高能量剂量的真正精确控制。 并且该离子实施过程是在相当高的能量下完成的。 |
| 我不会说确切的 |
| 目前，它的能量非常大，但这是普通离子注入机无法做到的，当需要将其注入晶圆时，剂量确实很低，这是另一个挑战。 |
| 而且它是如此的敏感，以至于在Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf没有可用的过程中控制来检查 |
| 确切的剂量。 因此，需要做的是建立不同剂量水平与被植入物之间的关系，然后在击穿电压结束时得到我们的实际结果。 |
| 这是 |
| 还要取决于晶圆尺寸，因为我们要制造不同尺寸的晶圆。 |
| 我们有两种不同的尺寸，我们在光电二极管的产品领域也有所不同 |
| 为客户制造，用于检测不同波长的光。 最后，我们得到了10种必要的流程控制， |
| 需要建立。 还有一个 |
| 此过程控制的挑战在于，过程本身，离子的实现方式和击穿电压的测量的时间表需要数周，有时甚至数月之久，因此这加起来了。 |
| 是的，这是一个挑战。 为了能够更好地进行过程控制和进行更精确的控制，我想到了使用JMP |
| 为了自动控制整个过程。 那么正在建立什么 |
| 大多数...很好...有很多脚本是每天的例行工作 |
| 要在晚上自动安排脚本任务，开始搜索最新的方法以进行正确的测量，这些方法在流程的后端进行。 |
| 并收集所有新的晶圆探测器测量结果。 这是必要的，因为我们目前没有数据库，所以我需要 |
| 搜索这些结果的脚本。 然后收集数据，并将其与植入参数合并，这些参数保存在另一个表中， |
| 并过滤异常值并将统计值（尤其是晶圆击穿电压的中值）保存到非常全面的JMP数据表中。 |
| 同样在路上，由于我的想法，如果有可用的数据，我宁愿生成一些晶片图以进行目视检查并自动保存它们 |
| 以后再检查。 这可以在左侧看到，我现在将放大图像。 |
| 嗯是的。 |
| 这些是...在左侧是击穿电压，在另一侧绘制了另一个特性，这对我们进行检查很有用。 而且您已经可以在此处看到击穿电压的分布情况大约是... |
| 在晶圆上。 因此，我们在单个晶片上具有相当大的这种特性差异，然后在每个击穿电压之间存在一个晶片间差异，并且存在运行（？）差异。 |
| 是的，您可以在这里看到我不仅生成了晶圆图，还包括分布并计算了产量，依此类推。 我在标题中加上了一些其他特征， |
| 以及徽标和元信息。 由于机密信息，我将其中的一部分涂成了黑色。 |
| 但是，是的，所以我们可以自动保存每次晶片问题的测量结果，并保存这些晶片图，以备日后检查和摸索过程。 我也可以在这里看到其他实现参数的影响，因此我们有... |
| 是的 |
| ...与Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf有着强大的反馈回路，因此我们与他们一起调整了流程。 |
| 是的，这是一个每晚自动产生的引人注目的糖果。 很好，但是如我所说，为了现在能够更好地控制过程，我们需要真正建立关于剂量和击穿电压的关系。 这是在这里完成的，您可以在其中看到 |
| 许多晶圆的击穿电压的中位数与剂量...实施剂量之间的关系。 而且，正如您在此处看到的那样，存在很大的差异，不仅 |
| 单一剂量，然后是晶圆之间或每次运行之间的差异。 |
| 这给生产带来了很大的挑战，但是从统计学的角度来看，如果 |
| 追求最高...您想要达到的中位数并获得最高的收益。 所以自动 |
| 完整的数据库是通过一个例程来实现的，该例程每天晚上运行，然后，我们（或我）使用预测分析器来确定客户所需的击穿电压，以使其符合其规格。 |
| 是的，这就是今天的状态。 |
| 这是线性关系，最终建立在二阶关系上。 实际上，我们还可以包括晶圆相对性， |
| 但是目前，这不是必需的。 为了建立这种关系，还需要进行更多的运行。 ...已经不可能将产量提高两个数字 |
| 通过这个回归过程。 |
| 是的，进一步说，展望，对于流程控制，我现在还将编写脚本 |
| 拟合过程，然后再次将系数导出到Excel表中，最后从Excel菜单中导出，该菜单也可以由生产计划进行控制。 |
| 这 |
| 生产计划的同事可以自己计算出最新的所需剂量 |
| 为了获得相对于击穿电压的高成品率的系数。 是的，是的，很显然，大部分工作都在脚本中， |
| 但这是一段不错的旅程。 我当然要感谢First Sensor，尤其是帮助我们 |
| 能够在这里出席，还有弗兰克·库德拉（Frank Kudella），他是该过程的大部分时间和时间的所有者，尤其是来自亥姆霍兹-曾特伦德累斯顿-罗森多夫的Roman Bottger。 非常感谢。 |
