ブルースカイプロセス/システム開発のための最終的なスクリーニング設計（DSD）（2021-EU-30MP-754）レベル：上級
シーゲイト、シニアエンジニア、アンドリュー・コネル
決定的なスクリーニング計画（DSD）を使用すると、実験者は比較的小さな実験計画（DOE）で多数の要因の影響を調べることができます。 簡単に言うと、DSDは、因子の交絡を防ぎ、非線形応答を検出できるという点で、標準のスクリーニング設計（Plackett-Burmanなど）を改良したものです。 DOE検証アプローチには、データ探索とプロセス開発のための反復的なシックスシグマガイド付きモデリング手法が含まれます。 DSDを使用すると、実験者はエイリアシングなしで主効果、二次方程式、交互作用を識別できます。 このプレゼンテーションでは、最初に、一般的な実験の概念と作業の目的、および実験計画空間データの開始について説明します。 プレゼンテーションは、DSDを使用してナノファブリケーショングレードのウェーハ基板表面を作成するためのバルクチタン用の新しい化学機械平坦化（CMP）プロセスの開発と、それに続くDSDのカスタム拡張に焦点を当てて、堅牢な3次プロセスに到達するために迅速に進行します。モデル。
起こるDOE品質と信頼性
