蓝天工艺/系统开发的确定性筛选设计（DSD）（2021-EU-30MP-754）级别：高级
希捷高级工程师Andrew Connell
确定性筛选设计（DSD）使实验人员可以在相对较小的实验设计（DOE）中研究大量因素的影响。 简而言之，DSD是标准筛选设计（例如Plackett-Burman）的改进，因为它们可以防止因素混淆，也可以检测非线性响应。 DOE验证方法涉及用于数据探索和过程开发的六西格玛迭代建模方法。 DSD使实验人员无需混叠即可识别主要效果，二次方和相互作用。 本演示文稿将首先探讨一般的实验概念和工作目的以及实验设计空间数据的建立。 演讲将很快进行，重点放在开发用于块状钛的新化学机械平面化（CMP）工艺，以使用DSD制造纳米加工级晶圆基底表面，以及随后定制DSD的增强以测试并实现可靠的三阶工艺。模型。
爆发美国能源部质量与可靠性
