엔지니어링 메일백
에피소드 6: 30초 이내에 웨이퍼 맵 작성
TL;DR
30초 안에 이 작업을 수행하는 방법을 알려드리겠습니다*!! 자세한 내용을 원하시면 계속 읽어보세요!
*걷기에는 약 3분 40초가 소요되지만, 마우스 클릭에는 약 30초가 소요됩니다.
소개
JMP에서 웨이퍼 맵을 어떻게 만드나요?
이런 질문을…많이 받습니다. 그래프 빌더에서 빠르고 지저분한 패턴의 웨이퍼 맵을 생성하는 방법에 대한 Engineering Mailbag(아마도 Engineering Postcard?)의 간단한 메모가 있습니다.
기본 지도
이번 토론에서 저는 다음 사항에 중점을 두겠습니다. 패턴화된 웨이퍼 맵. 이것들은 아주 간단하게 생성할 수 있으며 최소한 X 다이 ID, Y 다이 ID, 맵 색상 기준(정렬 빈, Vt, 필름 두께, 입자 수, 당신은 아이디어를 얻습니다). 이 주제에 대해 너무 열광할 수도 있고 마지막 부분에서 그 중 일부를 다루겠습니다. 하지만 이 토론에서는 매우 기본적인 "그냥 올바른 방향으로 지적하세요"에 초점을 맞추고 싶습니다. 방향” 웨이퍼 맵. 그리고 이를 위해서는 세 가지 데이터만 있으면 됩니다. 그 데이터가 있나요?
당신은 그렇습니다!
달콤한. 그럼 이렇게 해보자.
데이터 세트가 없다면 다음과 같은 샘플 데이터 세트가 포함되어 있습니다. JMP (이것은 내가 사용할 데이터 세트이기도 함) 완료할 때까지 따라가는 데 사용할 수 있습니다. 그냥 가세요 도움말 > 샘플 데이터 라이브러리 JMP에서 선택하고 웨이퍼 적층.jmp .
패턴화된 웨이퍼 맵은 히트 맵이라는 것을 멋지게 재구성한 것입니다. 그리고 히트맵은 실제로 정말 이미지의 각 픽셀이 하나의 사물(장치, 다이, 레티클 필드 등)을 나타내는 저해상도 이미지. 그리고 공교롭게도 그래프 빌더에서는 히트 맵(및 웨이퍼 맵)을 정말 쉽게 만들 수 있습니다! 그게 어떻게 작동하는지 재밌지 않나요?
먼저, 데이터가 올바르게 설정되었는지 확인해야 합니다. 행당 하나의 주사위가 있는 키가 큰 테이블에서 가장 잘 작동합니다. X Die 및 Y Die 열을 만들면 히트 맵을 만드는 것이 훨씬 쉬워집니다. 서수 데이터. 공장 데이터베이스나 제조 도구에서 JMP로 데이터를 가져올 때 일반적으로 X 다이 및 Y 다이 열은 다음과 같습니다. 마디 없는 . 일반적으로 이는 분석에는 큰 문제가 아니지만 시각화 목적을 위해서는 다음과 같은 작업이 필요합니다. 서수 . 따라서 데이터 아이콘을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 파란색 삼각형(연속)에서 녹색 정렬 히스토그램(서수)으로 변경합니다.
이제 재미있는 부분입니다. 그래프 빌더 열기( 그래프 > 그래프 빌더 JMP에서). X 다이 열을 하단 X 축 드롭 영역으로 드래그하세요. Y Die 열을 왼쪽 Y축 드롭 영역으로 드래그합니다. 관심 있는 매개변수를 창 오른쪽 끝에 있는 색상 드롭 영역으로 드래그하세요. 마지막으로 인터페이스 상단의 목록에서 Heat Map Graph Element를 선택합니다. 완료를 클릭하세요! 이제 웨이퍼 맵이 생성되었습니다.
다음은 Wafer Stacked.jmp 데이터 세트(및 일부 색상 수정)를 사용하여 Graph Builder에서 완성된 웨이퍼 맵입니다.
맵을 분할하려면(웨이퍼 로트, 공정 단계 등) 매핑하려는 변수를 Wrap Drop Zone(Color Drop Zone 왼쪽)에 넣기만 하면 됩니다. 페이지 드롭 영역(인터페이스 오른쪽 하단) 또는 X/Y 그룹 드롭 영역을 사용하여 더 세분화할 수 있습니다. 모두 사용해 보고 어떤 것이 마음에 드는지 확인하세요. 그들은 모두 장점과 단점이 있습니다. 다음은 Wrap Drop Zone(역시 창의적인 색상 사용)을 사용하여 로트 결함 총계를 보는 예입니다.
종횡비 개선
조금 다듬어 보겠습니다. 일반적으로 웨이퍼 맵은 원형일 것으로 예상하지만 다이의 종횡비는 히트 맵을 혼란스럽게 할 수 있습니다. 웨이퍼가 약간 이상해 보이더라도 정보가 여전히 효과적으로 전달되므로 이는 실제로 미학적 고려 사항입니다. 웨이퍼 맵의 왜곡된 스크린샷이 포함된 슬라이드 데크를 얼마나 많이 보셨는지 생각해 보세요. 그들은 끔찍해 보일지 모르지만 여전히 그 일을 하고 있습니다.
어쨌든 지도를 좀 더 예쁘게 만드는 데 사용할 수 있는 트릭이 있습니다. 그래프를 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 선택하세요. 그래프 > 크기 및 척도 > 크기를 등각투영으로 .
이는 일반적으로 사물을 조정하여 문제를 해결하므로 종횡비가 데이터 세트의 내용에 더 가깝게 됩니다. 그러나 전체 웨이퍼 맵을 보고 있지 않다면 프레임 크기 옵션(메뉴에서 크기에서 아이소메트릭으로 위에 있음)을 사용하여 수동으로 조정해야 할 수도 있습니다.
결론과 뻔뻔한 플러그
정말 그게 다입니다. 웨이퍼 맵은 그만큼 간단합니다. 이제, 패턴화되지 않은 웨이퍼 맵(베어 웨이퍼 맵이라고도 함)을 만들기 위해 여기에 왔다면 데이터 세트가 희박하고 샘플링 계획이 때때로 결과에 약간의 편향을 주기 때문에 생성하기가 조금 더 어렵습니다. 하지만 저는 2016 JMP Discovery Summit에서 베어 웨이퍼 맵을 작성하는 방법에 대한 논문을 작성했습니다. 여기서 찾을 수 있습니다: 모든 웨이퍼 맵이 잘못되었습니다: 반도체 데이터 시각화의 모험 . 이제 기본적인 히트맵 모양을 만들고 싶다면 심지어 더 예쁘다 , 베어 웨이퍼 맵을 빠르게 만들고 싶거나 단지 추가 기능으로 무거운 작업을 수행하려는 경우 다음과 같은 추가 기능이 있습니다. 반도체 도구 키트 (STK). 이는 동일한 Discovery Summit 프레젠테이션의 일부로 시작되었습니다. 지금은 너무 깊이 들어가지는 않겠지만, 2021년 후반 STK 최신 버전에 대한 추가 기사를 찾아보세요.
따라서 지금은 한 가지만 기억하십시오. 웨이퍼 맵은 원처럼 보이는 히트 맵일 뿐입니다.
여기서 설명하는 웨이퍼 맵은 매우 기본적입니다. 각 다이가 어떤 영역에 있는지에 대한 시각적 단서를 제공하는 사용자 정의 모양 파일을 사용하면 영역이 지정된 지도와 같은 것이 더 잘 제공됩니다. 또 다른 생각은 마우스 오른쪽 버튼을 클릭하고 사용자 정의 아래에 원을 추가하여 웨이퍼 맵에 원에 주석을 달 수 있다는 것입니다.
최상의,
중
웨이퍼 맵에 하나 이상의 기능을 추가할 수 있는 방법이 있습니까?제 경우에는 "Zone"인데 X, Y, Defects, Zone을 하나의 웨이퍼 맵에 표시하는 것이 가능한지 궁금합니다.
그 이유는 명목 값이나 순서 값을 처리할 때 JMP가 실제로 값 레이블 체계를 수행하고 있기 때문입니다. 축 속성에서 이를 확인할 수 있습니다.
따라서 필터링을 통해 항목을 변경하면 기본 값 레이블 할당이 변경됩니다(그러나 참조선은 동일하게 유지). 이로 인해 문제가 발생합니다. 히트 맵은 웨이퍼 매핑을 위한 완벽한 솔루션은 아니지만(이것이 기사에서 Quick 및 Dirty로 표시된 이유입니다), 그러나 위기에 처할 것입니다. 형식이 조금 깨지기 쉽습니다.
중
고마워요 마이크. 축 열 속성으로 이 작업을 수행했지만 데이터를 필터링하면 해당 선이 이동하고 더 이상 스테퍼 필드를 나타내지 않습니다.X 및 Y 좌표를 Ordinal 대신 Nominal로 만드는 방법을 고민 중입니다. 이들을 명목상으로 취급하는 데 차이점이 있습니까? 필터링하기 전에 웨이퍼 맵(스테퍼 필드를 올바르게 표시)과 장치 유형별 로컬 필터링이 포함된 맵(더 이상 스테퍼 필드를 올바르게 표시하지 않음)을 포함했습니다.
@dlifeke - 참조선을 사용하여 그렇게 할 수 있습니다. 축을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 축 속성을 선택하면 축 속성 대화 상자에 액세스할 수 있습니다. 참조선 추가는 영역 오른쪽 하단에서 처리됩니다.
최상의,
중
고마워요 마이크! 3x5 다이 패턴의 테두리와 같은 스테퍼 필드 라인을 추가하는 방법을 배울 수 있기를 기대합니다!
