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エピソード 6: 30 秒以内のウェーハ マップ
TL;DR
30 秒以内にこれを行う方法を説明します*。 詳細が必要な場合は、読み続けてください。
*ウォークスルーには約 3 分 40 秒かかりますが、マウスのクリックには約 30 秒かかります。
導入
JMP でウェーハマップを作成するにはどうすればよいですか?
この質問はよく受けます。 そこで、ここでは、Graph Builder で素早く簡単にパターン化されたウェーハ マップを作成する方法について、Engineering Mailbag (Engineering Mailbag (Engineering Postcard) でしょうか?) からの簡単なメモを紹介します。
基本マップ
この議論では、次の点に焦点を当てます。パターン化されたウェーハマップ。 これらは、いざというときに非常に簡単に作成でき、少なくとも 3 つの情報が必要です: X ダイ ID、Y ダイ ID、およびマップの色付けに使用するもの (ソート ビン、Vt、膜厚、粒子数、アイデアはわかります）。 このトピックについては、かなりの議論になる可能性があり、最後のほうでその一部について触れますが、このディスカッションでは、非常に基本的な「正しい指摘をするだけ」に焦点を当てたいと思います。方向」ウェーハマップ。 そのために必要なのは、これら 3 つのデータだけです。 そのデータはありますか？
あなたがやる！
甘い。 それでは、これをやってみましょう。
データ セットが手元にない場合は、サンプル データ セットが付属しています。 JMP (これは私が使用するデータセットでもあります)、それを理解するまで追跡するために使用できます。 ただ行ってくださいヘルプ > サンプル データ ライブラリJMPで選択してくださいウェーハスタック.jmp 。
パターン化されたウェーハ マップは、ヒート マップと呼ばれるものを派手に改造したものにすぎません。 そして、ヒート マップはまさに、本当に画像内の各ピクセルが 1 つのもの (デバイス、ダイ、レチクル フィールドなど) を表す低解像度画像。 そして、偶然にも、ヒート マップ (したがってウェーハ マップ) はグラフ ビルダーで非常に簡単に作成できます。 面白いですね、その仕組みは？
まず、データが正しく設定されていることを確認する必要があります。 これは、1 行に 1 つのダイスを備えた背の高いテーブルで最も効果的です。 X Die 列と Y Die 列を作成すると、ヒート マップの作成もはるかに簡単になります。序数データ。 ファクトリ データベースまたは製造ツールから JMP にデータを取り込む場合、通常、X Die 列と Y Die 列は次のようになります。継続的な。 通常、これは分析にとっては大した問題ではありませんが、視覚化の目的では、序数。 そこで、データ アイコンを右クリックし、青い三角形 (連続) から緑色の並べ替えられたヒストグラム (順序) に変更します。
さて、楽しい部分です。 グラフビルダーを開く (グラフ > グラフビルダーJMP)。 X Die 列を下部の X 軸ドロップ ゾーンにドラッグします。 Y Die 列を左 Y 軸ドロップ ゾーンにドラッグします。 目的のパラメータをウィンドウの右端にあるカラー ドロップ ゾーンにドラッグします。 最後に、インターフェイスの上部にあるリストからヒート マップ グラフ要素を選択します。 「完了」をクリックしてください。 これでウェーハマップが作成されました。
そして、これは、Wafer Stacked.jmp データ セット (および色を少しいじった) を使用して、Graph Builder で完成したウエハー マップです。
マップを（ロット内のウェーハ、プロセスステップなどで）分割したい場合は、マッピングする変数をラップドロップゾーン（カラードロップゾーンの左側）に置くだけです。 ページ ドロップ ゾーン (インターフェイスの右下) または X/Y グループ ドロップ ゾーンを使用して、さらに分割することができます。 すべて試してみて、どれが気に入ったかを確認してください。 それらにはすべて長所と短所があります。 以下は、ラップ ドロップ ゾーンを使用してロットの欠陥の合計を確認する例です (ここでも独創的な色付けを使用しています)。
アスペクト比を調整する
少し改良してみましょう。 一般にウェーハ マップは円形であると予想されますが、ダイのアスペクト比によってヒート マップが混乱する可能性があります。 これは、たとえウェーハが多少不安定に見えても、情報は依然として効果的に伝達されるため、実際には美観を考慮したものです。 ウェーハ マップの歪んだスクリーンショットを含むスライド デッキを何枚見たか考えてみてください。 見た目はひどいかもしれないが、それでも仕事はできる。
とにかく、マップを少しきれいにするために使用できるトリックがあります。 グラフを右クリックして選択するだけですグラフ > サイズとスケール > 等角投影サイズ。
通常、これにより調整することで問題が解決され、アスペクト比がデータ セットの内容により近くなるようになります。 ただし、完全なウェーハ マップを見ない場合は、[フレーム サイズ] オプション (メニューの [サイズからアイソメトリック] の上にあります) を使用して手動で調整する必要がある場合があります。
結論と恥知らずなプラグ
それで、本当にそれだけです。 ウェーハマップは非常にシンプルです。 さて、パターンなしのウェーハ マップ (ベア ウェーハ マップとも呼ばれる) を作成しようとしてここに来たのであれば、データ セットがまばらで、サンプリング計画が結果にバイアスを与える場合があるため、それらを作成するのは少し難しくなります。 しかし、私は 2016 年の JMP Discovery Summit でベア ウェーハ マップの作成方法に関する論文を発表しました。 それはここで見つけることができます:すべてのウェーハ マップは間違っています: 半導体データ視覚化の冒険。 ここで、基本的なヒート マップの外観を作成したい場合は、さらに美しい、またはベア ウェーハ マップをすばやく作成したい場合、または単にアドインに面倒な作業を実行してもらいたい場合には、半導体ツールキット(STK)。 これは、同じ Discovery Summit プレゼンテーションの一環として開始されました。 ここではこれについては深く掘り下げるつもりはありませんが、2021 年後半に STK の最新バージョンに関する追加の記事がいくつか掲載される予定です。
したがって、今は 1 つだけ覚えておいてください。ウェーハ マップは単なるヒート マップであり、円のように見えます。
ここで説明するウェーハ マップは非常に基本的なものです。 ゾーンマップのようなものは、各ダイがどのゾーンにあるかについての視覚的な手がかりを提供するカスタム シェイプ ファイルを使用する方が適切です。 もう 1 つの考えは、右クリックしてカスタマイズの下に円を追加することで、ウェーハ マップ上の円に注釈を付けることができるというものです。
最高、
M
もう 1 つのフィーチャをウェーハ マップに追加する方法はありますか?私の場合、「ゾーン」ですが、1枚のウェーハマップ上にX、Y、欠陥、ゾーンを表示することは可能でしょうか。
これは、(名目値または順序値を扱うとき) 内部で、JMP が実際に値ラベル スキームを実行しているためです。 これは軸のプロパティで確認できます。
したがって、フィルタリングによって変更すると、基になる値ラベルの割り当ても変更されます (ただし、参照行は同じままになります)。 それがあなたが見ている問題の原因です。 ヒート マップはウェーハ マッピングの完璧なソリューションではありません (記事内でクイック アンド ダーティとしているのはそのためです) が、いざというときには役に立ちます。 フォーマットは少し脆いです。
M
ありがとうマイク。 これを軸列のプロパティとして実行しましたが、データをフィルターすると、それらの線が移動し、ステッパー フィールドを表さなくなります。X 座標と Y 座標を Ordinal ではなく Nominal にすることをいじっています。 それらを公称として扱うことに何か違いがあることに気づきましたか? フィルタリング前のウェーハ マップ (ステッパー フィールドを正しく表示) と、デバイス タイプ別のローカル フィルタリングを適用したマップ (ステッパー フィールドが正しく表示されなくなりました) を含めました。
@dlifke - 基準線を使用してそれを行うことができます。 軸を右クリックして軸のプロパティを選択し、軸のプロパティ ダイアログにアクセスします。 基準線の追加はエリアの右下で行います。
最高、
M
ありがとうマイク！ 3x5 ダイ パターンの境界線など、ステッパー フィールド ラインを追加する方法を学ぶのを楽しみにしています。
