工程邮袋
第 6 集：30 秒内绘制晶圆图
长话短说
我将向您介绍如何在 30 秒内完成此操作*！ 如果您想了解详细信息，请继续阅读！
*整个过程大约需要 3 分 40 秒，但点击鼠标大约需要 30 秒，最多。
介绍
如何在 JMP 中制作晶圆图？
我经常被问到这个问题。 因此，这里有来自工程邮袋（也许是一张工程明信片？）的简短说明，介绍如何在图形生成器中创建快速且脏的图案化晶圆图。
基本地图
对于本次讨论，我将重点关注图案晶圆图。 这些在紧要关头创建起来非常简单，至少需要三条信息：X Die ID、Y Die ID 以及用于为贴图着色的内容（排序箱、Vt、薄膜厚度、粒子计数、你明白了）。 我们可能会对这个话题感到疯狂，我将在最后讨论其中的一些内容，但对于这次讨论，我想重点关注一个超级基本的“只要让我指向正确的方向”方向”晶圆图。 而且，为此我们只需要这三个数据。 你有那个数据吗？
你做！
甜的。 那么，让我们这样做吧。
如果您手边没有数据集，可以使用以下示例数据集联合管理计划（这也是我将要使用的数据集），您可以使用它来继续操作，直到您做到为止。 只要去帮助 > 示例数据库在 JMP 中并选择晶圆堆叠.jmp 。
图案化晶圆图只是热图的一种奇特的重组。 事实证明，热图只是一个真正的、真的低分辨率图像，其中图像中的每个像素代表一个事物（设备、芯片、标线区域等）。 而且，碰巧的是，在图形生成器中制作热图（以及晶圆图）非常容易！ 有趣的是，这是如何运作的，嗯？
首先，我们需要确保数据设置正确。 它最适合一张高桌子，每行一个骰子。 如果您制作 X Die 和 Y Die 列，制作热图也会容易得多序数数据。 当您从工厂数据库或制造工具将数据拉入 JMP 时，X Die 和 Y Die 列通常是连续的。 通常这对于分析来说并不是什么大问题，但为了可视化目的，它们需要序数。 因此，右键单击数据图标并将它们从蓝色三角形（连续）更改为绿色排序直方图（有序）。
现在是有趣的部分。 打开图形生成器（图形 > 图形生成器在 JMP 中）。 将 X Die 列拖至底部 X 轴放置区域。 将 Y Die 列拖至左 Y 轴放置区。 将您感兴趣的参数拖到窗口最右侧的颜色放置区。 最后，从界面顶部的列表中选择热图图形元素。 单击“完成”！ 您现在已经创建了晶圆图。
这是 Graph Builder 中使用 Wafer Stacked.jmp 数据集（以及一些颜色修改）完成的晶圆图。
如果您想分解贴图（按批次中的晶圆、工艺步骤等），只需将您想要贴图的变量放入“包裹放置区”（“颜色放置区”的左侧）即可。 您可以使用页面放置区（界面右下角）或 X/Y 组放置区进一步分解它。 全部尝试一下，看看您喜欢哪一个。 它们都有各自的优点和缺点。 下面是一个示例，其中我使用“包裹放置区”（再次使用一些创意着色）查看批次缺陷总数：
细化纵横比
让我们做一些细化。 我们通常期望晶圆图是圆形的，但芯片的纵横比可能会混淆热图。 这确实是一种美学考虑，因为即使晶圆看起来有点不稳定，信息仍然可以有效地传达。 想一想您见过多少张带有扭曲的晶圆图屏幕截图的幻灯片。 他们可能看起来很糟糕，但他们仍然完成工作。
不管怎样，我们可以使用一个技巧来美化地图。 只需右键单击图表并选择图形 > 大小和比例 > 大小至等轴测。
这通常会通过调整来纠正问题，使纵横比更接近数据集中的内容。 但是，如果您没有查看完整的晶圆图，则可能需要使用“框架尺寸”选项（位于菜单中“尺寸到等距”上方）手动调整内容。
结论和无耻的插头
所以，确实如此。 晶圆图就是这么简单。 现在，如果您来这里想要制作未图案化的晶圆图（也称为裸晶圆图），那么创建这些晶圆图会有点困难，因为数据集稀疏，而且采样计划有时会给结果带来一些偏差。 但是，我确实在 2016 年 JMP Discovery 峰会上发表了一篇关于如何制作裸晶圆图的论文。 您可以在这里找到：所有晶圆图都是错误的：半导体数据可视化的冒险。 现在，如果您想让基本热图看起来甚至更漂亮，或者想要快速制作裸晶圆图，或者只是想让一个插件为您完成繁重的工作，有一个名为半导体工具套件（STK）。 它是作为同一探索峰会演讲的一部分推出的。 我现在不打算太深入，而是在 2021 年晚些时候寻找一些有关最新版本 STK 的其他文章。
所以现在，请记住一件事：晶圆图只是热图——看起来像圆圈。
我在这里描述的晶圆图非常基本。 像分区地图这样的东西最好使用自定义形状文件，该文件提供有关每个骰子所在区域的视觉提示。 另一个想法是，您可以通过右键单击并在自定义下添加圆圈来注释晶圆图上的圆圈。
最好的，
中号
有没有办法在晶圆图上多添加一项功能？就我的“区域”而言，我想知道是否可以在一张晶圆图上显示 X、Y、缺陷和区域。
这是因为在底层（当您处理名义值或有序值时），JMP 实际上正在执行值标签方案。 您可以在轴属性中看到这一点。
因此，当您通过过滤更改内容时，它将更改基础值标签分配（但保持参考线相同）。 这会导致您看到的问题。 热图并不是晶圆映射的完美解决方案（这就是为什么它在文章中又快又脏） - 但它们会在紧要关头发挥作用。 格式化有点脆弱。
中号
谢谢迈克。 我已将其作为“轴列属性”完成，但是当我过滤数据时，这些线会四处移动并且不再代表步进器字段。我正在修改 X 和 Y 坐标为名义坐标而不是序数坐标。 您是否注意到将它们视为名义上的有什么不同？ 我在过滤之前包含了一张晶圆图（正确显示步进器字段）和一张按设备类型进行本地过滤的图（不再正确显示步进器字段）。
@dlifke - 你可以用参考线来做到这一点。 只需右键单击轴并选择轴属性即可访问轴属性对话框。 添加参考线是在该区域的右下角处理的。
最好的，
中号
谢谢迈克！ 期待学习如何添加步进场线，例如 3x5 模具图案的边框！
